對于平行流潔凈室《習(xí)慣上稱層流潔凈室），由于主要靠氣流的“活塞打擠壓作用排除行染，所以截面上的速度就是非常重要的指標(biāo)。國外潔凈室的強(qiáng)度要求極高，例如美國關(guān)于潔凈室的幾個(gè)標(biāo)準(zhǔn)的要求是．人工光300lx有較好的效果，當(dāng)工件精細(xì)程度更高時(shí)500x也是允許的。過去都參考美國20gB標(biāo)準(zhǔn)，采用0.45m/s．但人們也都了解到這樣大速度所需要的通風(fēng)量是極大的，為了節(jié)能，也都在探求降低速一風(fēng)速的可行性。在我國，《空氣潔凈技術(shù)措施》和(潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范）都是這樣規(guī)定的垂直平行流（層流）潔凈室≥0.25m/s水平平行流（層流）潔凈室≥0.35 m/s

A.建議新風(fēng)經(jīng)過集中處理后再與回風(fēng)混合，這樣可以減少表冷段的冷處理負(fù)擔(dān);B.這類方案一般可以適用潔凈度較高的如百級、千級或萬級、十萬級等較低的凈化無塵廠房。它可以大大地縮小機(jī)房的面積，水冷柜機(jī)可以根據(jù)具體的情況布置于較小機(jī)房內(nèi)或凈化車間內(nèi)，增壓風(fēng)柜也可以布置于機(jī)房內(nèi)或吊在機(jī)房內(nèi)或在夾層內(nèi)。2、光學(xué)微電子行業(yè)凈化工程設(shè)計(jì)方案分析之水冷柜機(jī) 增壓風(fēng)柜 送風(fēng)口與前種方案比較，這是相對比較簡單的空調(diào)方案。它可以大大地縮小機(jī)房的面積，水冷柜機(jī)可以根據(jù)具體的情況布置于較小機(jī)房內(nèi)或凈化車間內(nèi)，增壓風(fēng)柜也可以布置于機(jī)房內(nèi)或吊在機(jī)房內(nèi)或在夾層內(nèi)。

潔凈室凈化工程凈化工程的施工特點(diǎn)：潔凈室凈化工程設(shè)計(jì)首先要了解所設(shè)計(jì)的潔凈室凈化工程的用途、使用情況、生產(chǎn)工藝特點(diǎn)等、比如設(shè)計(jì)的是集成電路生產(chǎn)用潔凈室凈化工程．首先要弄清楚產(chǎn)品的特性——集成度、持形尺寸和生產(chǎn)工藝特點(diǎn)；對潔凈室凈化工程的要求——空氣潔凈度等級、溫濕度及其控制范圍、防微振、防靜電和高純物質(zhì)的供應(yīng)要求等。進(jìn)行潔凈廠房的平面布置、空間布置，此時(shí)必須首先安排好產(chǎn)品生產(chǎn)區(qū)與個(gè)產(chǎn)輔助區(qū)t動(dòng)力公用設(shè)施區(qū)的合理布局，通常是順應(yīng)產(chǎn)品的生產(chǎn)工藝硫程，在確保產(chǎn)品生產(chǎn)環(huán)境要求的倩況下做到有利于產(chǎn)品生產(chǎn)的操作、管理，有利于節(jié)約能源、降低生產(chǎn)成本。