電子束蒸發(fā)鍍膜設備介紹哪些性能？

沈陽鵬程真空技術(shù)有限責任公司擁有先進的技術(shù)，我們都以質(zhì)量為本，信譽高，我們竭誠歡迎廣大的顧客來公司洽談業(yè)務。如果您對電子束產(chǎn)品感興趣，歡迎點擊左右兩側(cè)的在線客服，或撥打咨詢電話。

真空測量：采用數(shù)顯復合真空計（兩只電阻規(guī)測量低真空，一只電離規(guī)測量高真空）, 測量范圍為1×105Pa —1×10-5Pa。

斷水報警、相序檢測與保護、溫度檢測與保護、真空系統(tǒng)檢測與保護。

電子束蒸鍍系統(tǒng)的特點

* 渦輪分子泵，串接機械泵或干泵

* pocket電子槍

* 電子束源和基片遮板

* 性能好的開關(guān)電源，杰出的消弧性能

* 自動Pocket索引以及可編程的掃描控制器

* 膜厚監(jiān)測，可設置目標膜厚作為工藝終點條件

* 旋轉(zhuǎn)樣品臺，提供高均勻性

* 帶觀察視窗的腔門，便于放片/取片

* PC全自動控制，具有高度的可重復性

* Labview軟件的計算機全自動工藝控制控

* 多級密碼保護的授權(quán)訪問設計

* EMO保護以及完全的安全聯(lián)鎖

以上就是為大家介紹的全部內(nèi)容，希望對大家有所幫助。如果您想要了解更多電子束的知識，歡迎撥打圖片上的熱線聯(lián)系我們。