氣體管道安裝

在實驗室設計領域中，實驗室供氣系統(tǒng)的規(guī)劃設計是相當重要的。不僅是給試驗操作人員一個良好的工作環(huán)境，更加是對試驗人員的人身安全的一個保障。氣體管道安裝聯(lián)接方法管子、管子聯(lián)接件、閥門和設備上的進出接管間的聯(lián)接方法，由氣體的性質(zhì)、壓力和溫度以及管子的材質(zhì)、尺寸和安裝場所等因素決定，主要有螺紋聯(lián)接、法蘭聯(lián)接、承插聯(lián)接和焊接等四種方法。所以在實驗室設計之初我們就應該把供氣系統(tǒng)的設計規(guī)范考慮進去。相應等級的實驗室就應該有相應的設計規(guī)范，這樣才能完i美的設計出一個利于工作而保證安全的實驗室。

一、氣瓶間及氣瓶的安全規(guī)范

（1）氣瓶應專瓶，不能隨意改裝其它種類的氣體。

（2）氣瓶室嚴禁靠近火源、熱源和有腐蝕性的環(huán)境。

（3）氣瓶室必須使用防爆開關和燈具，周圍禁止動用明火。

（4）氣瓶室應有通風設備，保持陰涼，氣瓶室頂部應該留有泄流孔防止易i燃氣體的聚集。

（5）空瓶與實瓶分區(qū)放置，氣瓶室易i燃易i爆氣瓶應該與助燃氣瓶隔離。

（6）瓶閥、接管螺絲和減壓閥等附件完好齊全，無漏氣、滑絲、表針松動等危險情況，各類氣壓表一般不得混用。

（7）氣瓶在儲存、使用時必須直立放置，工作地點不固定且移動頻繁時，應固定在手推車上，防止傾倒，嚴禁臥放使用。

（8）氣瓶嚴禁靠近火源、熱源和電氣設備，與明火距離不少于10m，氧氣瓶和乙i炔氣瓶同時使用時，不能放在一起。

（9）使用后的空瓶，應移至空瓶存放區(qū)，并加上空瓶的標示，嚴禁空瓶與實瓶混存。

（10）氣瓶中氣體不可用盡，必須保持一定余壓。

（11 ）氣瓶須定期檢驗，不得超過使用氧氣瓶、乙i炔氣瓶，液化石油i氣瓶的檢驗周期為3年、氮氣瓶的檢驗周期為5年。

（12）氣瓶應放在主體建筑物之外的氣瓶存放間。對日用氣量不超過一瓶的氣體，實驗室內(nèi)可放置一個該種氣體的氣瓶，但氣瓶應有安全防護設施。

（13）氫氣和氮氣的氣瓶存放間應有每小時不小于三次換氣的通風措施。

氣體管道工程泄漏檢查的方法有哪些？

氣體管道(gas pipeline)包括控制閥門、過濾器、減壓裝置、壓力表、流量計、在線分析儀等，宜集中設在氣體入口室。

Ai級試漏

對氣路嚴重泄漏的粗略觀察。通常在氣源打開并穩(wěn)定之后，不應聽到氣路流經(jīng)的各管路及閥件接頭處有絲絲的跑氣聲，如聽到明顯的漏氣聲，說明系統(tǒng)有大漏!必須依據(jù)漏氣聲，追查出泄漏處，并加以排除。引起系統(tǒng)大漏的常見原因是：氣路接頭沒上緊，氣路中管路開裂及沒加合適的墊片等。查找氣路的嚴重泄漏，也可在流 路的流量開到頂值時，用肥皂水在各接頭逐步測試有無氣泡出現(xiàn)而加以證實。（6）瓶閥、接管螺絲和減壓閥等附件完好齊全，無漏氣、滑絲、表針松動等危險情況，各類氣壓表一般不得混用。

B級試漏

對氣路中輕微漏氣的檢查。方法是堵住氣路出口，觀察氣路中流量計內(nèi)的轉(zhuǎn)子。如果能緩緩下降為零，即可認為此氣路B級試漏合格。如轉(zhuǎn)子不能降到零，可用肥皂水在各接頭處仔細觀察。直到找到泄漏處為止。

C級試漏

對氣路中極i小漏氣的檢查。方法是堵住氣路出口，觀察系統(tǒng)壓力表，不得在半小時之內(nèi)有5kPa(相當于0.05kgf/cm2)以上的下降。此時系統(tǒng)壓力應在0.25MPa(相當于2.5kgf/cm2)以上。（11）氣瓶須定期檢驗，不得超過使用氧氣瓶、乙i炔氣瓶，液化石油i氣瓶的檢驗周期為3年、氮氣瓶的檢驗周期為5年。必要時可在系統(tǒng)出口處外接一個0.5級標準壓力表來讀取壓力變化數(shù)。

在證實氣路系統(tǒng)有泄漏時，可用分段堵住或關閉氣路的方法來縮小漏氣發(fā)生的范圍。絕大多數(shù)的漏氣點都發(fā)生于氣路接頭處，而氣路閥件內(nèi)部的泄漏也時有發(fā)生，至于管路中間的泄漏，除了急轉(zhuǎn)彎處以外是很少見的。

高純氣體管道配管

所有高純度、高潔凈的氣體均需通過管路輸送到設備用點(POU)，為了達到工藝對氣體的質(zhì)量要求，在氣體出口指標一定的情況下，則更需重視配管系統(tǒng)的材料選用和施工質(zhì)量。除取決于制氣或凈化設備的精度外，在很大程度上受到管路系統(tǒng)諸多因素的影響，因此，管材的選取應恪守相關行業(yè)原則，并在圖紙中注明管道材質(zhì)。為了保證管道的強度和剛度，必須設置各種支(吊)架，如活動支架、固定支架、導向支架和彈簧支架等。

管路的材質(zhì)則依使用的需求進行選擇，若為制程用的反應氣體則選擇高等級的316L EP管，經(jīng)電解拋光(Electro-Polish)處理，耐腐蝕，表面粗糙度低，Rmax(maximum peak to valleyheight)約為0.3μm以下，其值遠低于經(jīng)過光輝燒結(jié)(Bright Anneal)處理之316L BA管的0.8μm，因平整度越高越不容易形成微渦流，而將污染粒子帶出。316L BA管則常使用于和芯片接觸但不參與制程反應的氣體，如GN2、CDA。管內(nèi)表面粗糙度是衡量管材質(zhì)量的標準。粗糙度越低，其顆粒攜帶可能性大大降低。聯(lián)接時根據(jù)氣體的性質(zhì)、壓力和溫度選用不同的法蘭和密封墊片，利用螺栓夾緊墊片保持密封。另一種未經(jīng)特殊處理的AP管(Annealing & Picking)，則用于不做為供氣管路的雙套外管。