多線切割機(jī)

近年來，由于國家的重視，將極大規(guī)模集成電路制造裝備與成套工藝專項(xiàng)課題列入國家重大科技專項(xiàng)，另外，國內(nèi)有關(guān)設(shè)備制造企業(yè)也看到了這個(gè)巨大的商機(jī)，大力投入人力物力開展艱苦的研制開發(fā)，先以模仿為主，逐漸轉(zhuǎn)向自主創(chuàng)新，研制出有自身知識產(chǎn)權(quán)的多線切割機(jī)。IC器件的基礎(chǔ)性材料是半導(dǎo)體硅單晶材料，因此，世界各國對硅單晶材料的消耗量反映了一個(gè)國家的IC制造業(yè)的規(guī)模和工藝水平，同時(shí)各國硅材料生產(chǎn)及硅圓片生產(chǎn)水平也代表了一個(gè)國家IC工業(yè)的材料基礎(chǔ)的實(shí)力。

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線切割工藝

目前，金剛線切割工藝的輔料主要為金剛線及切割液：

金剛線  金剛石鋸線是一種固態(tài)研磨工具，金剛石顆粒用電鍍或者環(huán)氧基方式粘接在基線上。金剛石鋸線分為電鍍金剛石鋸線和樹脂結(jié)合劑鋸線。

樹脂結(jié)合劑金剛石鋸線是一種采用樹脂作為結(jié)合劑,將金剛石磨粒固結(jié)于鋸絲基體表面而形成的固結(jié)磨料鋸線。切割液金剛線切割設(shè)備使用的切割液主要作用是冷卻，所以主要采取冷卻水或油基冷卻。樹脂結(jié)合劑鋸線制造方法與樹脂結(jié)合劑砂輪的制造類似,直接將含有金剛石磨料的樹脂混合物涂敷在金屬絲表面,經(jīng)過干燥后再固化。相比電鍍金剛石鋸線,樹脂涂層的剪切模量較低,鋸絲的扭切強(qiáng)度基本不變,更重要的是樹脂結(jié)合劑金剛石鋸絲制作工藝簡單,生產(chǎn)成本低,生產(chǎn)。、

線切割設(shè)備

IC器件的基礎(chǔ)性材料是半導(dǎo)體硅單晶材料，因此，世界各國對硅單晶材料的消耗量反映了一個(gè)國家的IC制造業(yè)的規(guī)模和工藝水平，同時(shí)各國硅材料生產(chǎn)及硅圓片生產(chǎn)水平也代表了一個(gè)國家IC工業(yè)的材料基礎(chǔ)的實(shí)力。

線切割設(shè)備廣泛應(yīng)用于太陽能電池用單晶硅、多晶硅切割；功能陶瓷、人工晶體的切割。其加工速度快，切面質(zhì)量好，被市場認(rèn)可。

環(huán)形電鍍金剛石線

環(huán)形電鍍金剛石切割線是指將金剛石磨料電鍍到環(huán)形金屬基體上形成的切割線。該類切割線使用時(shí)一般纏繞到幾個(gè)導(dǎo)輪上進(jìn)行單向循環(huán)切割，切割過程中無需換向，因此切割速度高。

環(huán)形電鍍金剛石切割線中的由單根鋼絲焊接成環(huán)形的切割線的線徑一般不大于1 mm，因此切縫較小，適合于硅晶體和藍(lán)寶石等比較貴重的硬脆材料的切割。

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