氫氣檢漏法的主要設(shè)備

(1)檢漏儀：采用上述工作原理制造的專用氫氣檢漏儀，由于氫氣的上述性質(zhì)，其靈敏度可以達(dá)到與氦檢相同水平。

(2)示蹤氣體充注控制器：對(duì)于批量生產(chǎn)的用戶，采用示蹤氣體充注控制器進(jìn)行抽真空/充氣/排氣操作，可以完成對(duì)檢測管道的充氣和排氣過程自動(dòng)化控制。

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真空設(shè)備檢漏與維修

為什么要檢漏

泄漏和密封相對(duì)應(yīng)

很多情況下，我們需要密封住一定的空間，防止氣體或液體在壓力的作用下，流進(jìn)或流出這個(gè)空間。如真空設(shè)備（真空鍍膜機(jī)，液晶注入機(jī)，PVD，半導(dǎo)體外延等等），需要在真空條件下工作，要求在工作時(shí)，空氣不能漏進(jìn)工作腔體，否則生產(chǎn)不能進(jìn)行，或者產(chǎn)生次品，浪費(fèi)人力物力。其結(jié)構(gòu)主要由進(jìn)樣系統(tǒng)、離子源、質(zhì)量分析器、收集放大器、冷陰極電離真空計(jì)等組成。另外裝液體或氣體的容器（液壓氣瓶，氧氣瓶，空調(diào)冰箱中的雪種容器等等），要求在容器內(nèi)外存在壓差的情況下，不能有氣體或液體漏出。如果有漏，后果嚴(yán)重，一般會(huì)造成有效物資的浪費(fèi)，如有毒物資、腐蝕性氣體漏出，甚至?xí)劤墒鹿省?

這些對(duì)密封性有要求的產(chǎn)品或設(shè)備，在投入使用前，就要先進(jìn)行檢漏，使用中也要定期進(jìn)行檢漏檢查。

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并預(yù)先根據(jù)環(huán)境中氦的含量對(duì)檢漏儀進(jìn)行標(biāo)定。若需在抽真空方式下準(zhǔn)確地找到漏孔的

位置，可以通過對(duì)可yi位置噴氦并檢驗(yàn)漏率是否有明顯的上升來完成。

與抽真空方式相反，嗅探方式是通過測量待測器件內(nèi)部氣體經(jīng)由器壁漏孔泄漏至器件外面的氦的多少來獲得漏率的大小的。預(yù)先向待測器件內(nèi)充入一定氦氣，

封閉測試端口，將嗅探探頭連接至檢漏儀，用嗅探探頭對(duì)待測器件表面的可yi部位進(jìn)行掃描。如果發(fā)現(xiàn)漏率明顯的上升，便可判斷漏孔的位置。超聲波轉(zhuǎn)換器由于只檢測超聲波部分，在普通工廠的噪音條件下，不受明顯干擾，因此檢漏效果很好。這種方式適合在待測器件內(nèi)部無法或者不能抽真空的情形下檢漏。但是，由于嗅探方式是通過檢測器壁外的大氣來進(jìn)行測量的，大氣中的氦會(huì)帶來一個(gè)較高的漏率本底。這個(gè)本底雖可通過置零來清除，但仍會(huì)降低嗅探方式的靈敏度（嗅探方式xiao可檢測漏率小于5×10－6Pa·L/s，而抽真空方式的小于5×10－10Pa·L/s）。

氫氣檢測儀是一種可連續(xù)檢測有毒氣體濃度，適用于防爆場所要求的本質(zhì)安全型設(shè)備。氫氣氣體檢測儀為本質(zhì)安全型產(chǎn)品，符合GB3836.1-2000《操作指南氣體環(huán)境電氣設(shè)備》部分：通用要求和GB3836.4-2000《性氣體環(huán)境電氣設(shè)備》第4部分：本質(zhì)安全型”i”的有關(guān)規(guī)定。便攜式氫氣泄漏檢測儀，是一種可連續(xù)檢測作業(yè)環(huán)境中氫氣濃度的儀器。質(zhì)量分析器是一個(gè)均勻的磁場空間，不同離子的質(zhì)荷比不同，在磁場中就會(huì)按照不同軌道半徑運(yùn)動(dòng)而進(jìn)行分離，在設(shè)計(jì)時(shí)只讓氦離子飛出分析器的縫隙，打在收集器上。氫氣檢測儀為內(nèi)置泵吸式方式檢測氣體濃度，采用進(jìn)口電化學(xué)傳感器，具有的靈敏度和出色的重復(fù)性；氫氣檢測儀采用嵌入式微控制技術(shù)，菜單操作簡單，功能齊全，可靠性高，整機(jī)性能居國內(nèi)水平。檢測儀外殼采用高強(qiáng)度工程材料、復(fù)合彈性橡膠材料精制而成，強(qiáng)度高、手感好。