真空設備檢漏

設備及密封器件的微小漏隙進行定位、定量和定性檢測的專用檢漏儀器。它具有性能穩(wěn)定、靈敏度高、操作簡便，檢測迅速等特點，是在真空檢漏技術中用得普遍的檢漏儀器，

其測量工作原理如下。氦質譜檢漏儀是根據質譜學原理制成的磁偏轉型的質譜分析計，用氦氣作為示漏檢測氣體制成的氣密性質譜檢漏儀器。其結構主要由進樣系統(tǒng)、離子源、質量分析器、收集放大器、冷陰極電離真空計等組成?，F今的氫氮混合氣檢漏技術可以檢出低至5*10-7mbar/s的泄漏，相當于0。離子源是氣體電離，形成一束具有特定能量的離子。質量分析器是一個均勻的磁場空間，不同離子的質荷比不同，在磁場中就會按照不同軌道半徑運動而進行分離，在設計時只讓氦離子飛出分析器的縫隙，打在收集器上。收集放大器收集氦離子流并送入到電流放大器，通過測量離子流就可知漏率。冷陰極電離真空計指示質譜室的壓力及用作保護裝置。

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真空設備檢漏與維修

隨著壓力容器出口產品的增加及各制造企業(yè)對產品質量的重視，氦質譜檢漏方法在我國的壓力容器制造業(yè)中的應用也逐年遞增。氦質譜檢漏方法（以下簡稱氦檢）以其高靈敏度和準確性而通常應用于整體防漏等級較高的壓力容器上。檢漏的任務就是在制造、安裝、調試過程中，判斷漏與不漏、泄漏率的大小，找出漏孔的位置。氦檢方法基本上可分為用氦氣內部加壓法和設備內部抽真空外部施氦這兩種，由于后者需將設備完全抽成真空狀態(tài),往往會增加試驗用設備（如高、低壓真空泵、真空閥等）和設備工裝（如外壓加強圈）而使造價提高，所以該方法通常用于容積小而厚壁的設備；對于大多數壓力容器而言，通常優(yōu)先選用前一種方法。

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北京科儀創(chuàng)新真空技術有限公司（簡稱：科儀創(chuàng)新）出資成立，創(chuàng)建于2015年，注冊資金500萬。科儀創(chuàng)新產品主要有：薄膜制備設備，真空冶金設備，檢漏設備，真空系統(tǒng)等非標真空產品；系列分子泵，離子泵，鈦升華泵，深冷捕集泵等高真空獲得設備；系列干式渦旋泵，干式爪泵，干式螺桿泵等無油真空獲得設備；超高真空環(huán)境模擬設備等高新技術產品。它是將泄漏聲音中可聽頻率部分截掉，僅僅使超聲波部分放大，以檢測出泄漏。

如何選擇檢漏方式，與檢測對象的工作環(huán)境有很大關系，盡量做到與檢測對象的工作狀態(tài)一致。如檢測對象工作時內部處于正壓，則用正壓模式，如檢測對象工作時內部處于負壓，則用真空模式。另外裝液體或氣體的容器（液壓氣瓶，氧氣瓶，空調冰箱中的雪種容器等等），要求在容器內外存在壓差的情況下，不能有氣體或液體漏出。HLT260型氦質譜檢漏儀具有嗅探和抽真空2種檢漏模式，即正壓模式和負壓模式。詳細檢漏方法與測量工作過程如下：

在抽真空方式下，待檢漏的器件通過測試端口與檢漏儀相連，

待測器件被檢漏儀內部的粗抽泵和分子泵抽到一定的真空（如果待測器件容積較大，則需額外的泵組一起協(xié)同作業(yè)以提高xiao率）。1g/y，其氣體使用成本僅是氦氣的1/10到1/20，同時氦氣檢漏法要增加一些輔助設備，如氦氣回收系統(tǒng)等。只需測量待測器件外部大氣通過器壁的漏孔進入器件內部的氦的多少便可以判斷漏率的大小。如果需要得到精que的漏率數值，則必須等待整個測量系統(tǒng)的真空達到穩(wěn)態(tài)，