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真空箱氦檢漏系統(tǒng)誠信企業(yè)「科儀創(chuàng)新真空」

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發(fā)布時間:2021-08-30 19:38  






氦質(zhì)譜檢漏儀的應(yīng)用拓展三

(1)電子行業(yè)

微波發(fā)射管、電子管、晶體管、集成電路、密封繼電器、各類傳感器、心臟起博器。

(2)真空行業(yè),儀器、儀表行業(yè)

管道、接頭、閥門、波紋管、各種真空泵、各類排氣機組、電鏡、質(zhì)譜儀、電子束離子速暴光機、激光軸分離器、高能加1速器、加1速器、輻照加1速器、鍍膜機、薄膜真空計。

(3)核工業(yè)

鈾分離裝置、存儲裝置、核發(fā)電裝置。

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氦質(zhì)譜檢漏儀的注意事項

檢漏儀的響應(yīng)時間會影響檢漏工作的速度,正常運行的儀器響應(yīng)時間不大于3s。筆者實測時,在漏點處噴射氦氣5~10s后,檢漏儀就發(fā)生響應(yīng),對于如此龐大的真空系統(tǒng),其反應(yīng)是相當(dāng)?shù)撵`敏。

檢漏時噴槍在漏孔處停留的時間應(yīng)為儀器響應(yīng)時間的3倍,該時間再加上氦氣在真空系統(tǒng)中的傳遞時間,即為兩次噴氦的較小間隔時間,當(dāng)然真空系統(tǒng)越龐大,該間隔時間也越長。筆者根據(jù)實測經(jīng)驗,兩次噴氦的較小間隔時間控制在30s左右,即如果次噴氦后30s內(nèi)檢漏儀還沒有反應(yīng),則可進(jìn)行第二次噴氦。1)高壓開關(guān)在連箱是鋁鑄件,往往容易有砂眼,且漏孔結(jié)構(gòu)復(fù)雜,不易清洗。

清除時間在理論上與響應(yīng)時間相同,但由于儀器零件對氦的吸附和脫附作用的影響,清除時間一般要更長些。筆者測算,在測試到數(shù)量級為10-9P a ?m3/s的微漏漏點時,清除時間約須1分鐘;在測試到數(shù)量級為10-8P a ? m3/s的中漏漏點時,清除時間約須2分鐘;氫和氦都是比較理想的示蹤氣體,空氣中的含量少,質(zhì)量輕,運動速度快,分子直徑小,同等條件下,直線運動距離長。在測試到數(shù)量級為10-7Pa?m3/s的大漏漏點時,清除時間在3分鐘左右。

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真空箱法氦質(zhì)譜檢漏的原理與系統(tǒng)特點

真空箱法氦質(zhì)譜檢漏的充氣回收檢漏系統(tǒng)

1.配置與氣路控制

真空箱:一般為雙工位,兩個不銹鋼真空箱,開門裝置可采用液壓方式,或加配重的手動方式。

工件抽空系統(tǒng):低真空泵及閥門,低真空測量充氮與回收系統(tǒng):氦氣儲存罐(高壓罐),氦氣回收取罐(低壓罐),主壓縮機,輔壓縮機,過濾器以及一些高壓閥和真空閥門等。

真空箱抽氣系統(tǒng):為自動控制型,由面板、PLC系統(tǒng)(可編程邏輯控制器),充氦回收系統(tǒng),真空箱抽氣系統(tǒng)的電路部分以及為自動檢漏過程提供參考信號的壓力傳感器和熱偶計,同時,實施對整個系統(tǒng)的工作控制,對檢漏過程和結(jié)果顯示。

2.系統(tǒng)檢測過程

1)、通過v1、V4,泵系統(tǒng)對工件和真空箱抽真空,如果限定的時間內(nèi)抽到限定的真空度,此時,電氣控制系統(tǒng)關(guān)閉V1,打開V2

2)、充氦系統(tǒng)通過V2對工件進(jìn)行充氦至核定的壓力,穩(wěn)定,關(guān)閉V2

3)、關(guān)閉V4,打開V3、V5,處在正常工作狀態(tài)待命的氦質(zhì)譜檢漏儀進(jìn)行檢漏,如果不漏,電氣控制系統(tǒng)指揮關(guān)斷V3、V5,打開V2對氦氣進(jìn)行回收。

4)、關(guān)閉V2打開V6對真空箱放氣,開啟真空箱更換工件。

5)、如果第三點檢漏儀檢測到超過設(shè)定值(漏率)的工件,檢漏儀聲光報警,將:工作內(nèi)的氦氣回收,對真空箱和管道巾的氦氣通過清潔泵抽除,免得影響檢漏儀的檢測效果和不污染檢漏儀。

6)、維持泵有一定的氦分流作用,不宜過大(不超過41),清潔泵也同樣。

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