無塵車間的原則:

無塵車間里存在大量可以節(jié)約能源的地方，例如暖氣、通風(fēng)和空調(diào)(HVAC)、工藝?yán)鋮s、壓縮空氣以及一些其他的設(shè)施。 HVAC系統(tǒng)消耗的電力超過了整座晶片制造廠用電量的一半。之所以造成大量浪費(fèi)電力及HVAC的容量過剩，很大程度上是因?yàn)樵谠O(shè)計(jì)和建造工廠時(shí)走捷徑，盡可能地壓縮前期投入，而不顧后期運(yùn)行費(fèi)用。高1效率的設(shè)計(jì)和高1效率設(shè)備需要很大的前期投入。如碳鋼管的連接，φ75以下采用絲扣連接，φ75以上采用法蘭，普通電焊連接連接。

無塵車間潔凈度測(cè)試方法主要有以下三種：

      一、空態(tài)檢測(cè)方法

      指的是無塵車間系統(tǒng)已處在一切正常的運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)，但工藝設(shè)備以及工作人員還未進(jìn)入到無塵車間的情況下檢測(cè)的。

      二、動(dòng)態(tài)檢測(cè)方法

      指的是無塵車間系統(tǒng)已處在一切正常的運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)，但工藝設(shè)備與工作人員都已進(jìn)入無塵車間工作的情況下開展檢測(cè)的。

      三、靜態(tài)檢測(cè)方法

      指的是無塵車間系統(tǒng)已處在一切正常的運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)，而且工藝設(shè)備已經(jīng)安裝完成但未正常運(yùn)轉(zhuǎn)，車間內(nèi)也沒有工作人員的情況下開展檢測(cè)的。

無塵車間的平面布局：無塵車間一般包括無塵區(qū)、準(zhǔn)無塵區(qū)和輔佐區(qū)三部分。無塵車間的平面安置能夠有以下幾種方法：

外廊盤繞式：外廊能夠有窗和無窗，兼作觀賞和放置一些設(shè)備用，有的在外廊內(nèi)設(shè)直勤采暖。外窗有必要是雙層密封窗。

內(nèi)廊式：無塵車間設(shè)在外圍，而走廊設(shè)在內(nèi)部，這種走廊的無塵度等級(jí)一般都較高，乃至和無塵車間同級(jí)。

兩頭式：無塵區(qū)設(shè)在一邊，另一邊設(shè)準(zhǔn)無塵和輔佐用房。

中心式：為了節(jié)省用地、縮短管線，能夠無塵區(qū)為中心，上下左右被各種輔佐用房和蔭蔽管道的空間包圍起來，這種方法避開室外氣候?qū)o塵區(qū)的影響，削減了冷熱能耗，利于節(jié)能。

進(jìn)入無塵車間之程序

a、踏上換鞋區(qū)入口之地板前，必須先將外鞋脫下。

b、外鞋置于鞋柜之中，進(jìn)入換衣區(qū)換穿無塵衣，依規(guī)定進(jìn)入空氣風(fēng)淋室作空氣浴

c、空氣洗凈室內(nèi)，不可超過6個(gè)人同時(shí)進(jìn)入。

d、為避免影響空氣正常循環(huán)及除塵效果，人員不可倚靠在空氣風(fēng)淋室的門或墻上。人員必須站立于空氣洗凈室中央踏腳板上輕微搖動(dòng)雙手旋轉(zhuǎn)360度，以幫助灰塵掉落。

e、風(fēng)嘴方向正常應(yīng)是向下吹氣，請(qǐng)勿隨意撥弄調(diào)整好的風(fēng)嘴方向，以求達(dá)到除塵效果。

f、頭發(fā)必須蓋在頭罩之內(nèi)，必要時(shí)可使用發(fā)罩。  

g、口、鼻必須蓋在口罩之內(nèi)：口罩使用后即應(yīng)丟棄，不可重復(fù)使用；頭罩下擺必須完全扎入無塵衣之衣領(lǐng)內(nèi)。

h、無塵衣穿著程序： (1)頭罩 (2)無塵衣 (3)防護(hù)鞋（若用臨時(shí)鞋套時(shí)，則需穿鞋套）。當(dāng)穿上無塵衣時(shí)，識(shí)別證必須掛在無塵衣外。