【廣告】
湖北豐熱科技有限公司(原武漢離子熱處理研究所),專業(yè)制造輝光離子滲氮爐的高新技術(shù)企業(yè);是集研發(fā)、生產(chǎn)、銷售安裝輝光離子滲氮爐,并為用戶提供成套的離子滲氮工藝技術(shù)服務(wù)。
輝光離子氮化是指利用輝光放電現(xiàn)象使工件表面滲入氮原子的熱處理方法。采用專用的輝光離子氮化爐,以工件為陰極,爐體為陽極,當(dāng)爐內(nèi)真空度抽至(1~0.1Pa)后通入氨氣,使真空室內(nèi)壓力約為66.65~1333.2Pa。
利用稀薄氣體的輝光放電現(xiàn)象加熱工件表面和電離化學(xué)熱處理介質(zhì),使之實(shí)現(xiàn)在金屬表面滲入欲滲元素的工藝稱為輝光放電離子化學(xué)熱處理,簡稱離子化學(xué)熱處理。因?yàn)樵谥饕ぷ骺臻g內(nèi)是等離子體,故又稱等離子化學(xué)熱處理。
射頻磁控濺射氣體放電時(shí),由于射頻靶電源輸出交變高頻正弦電壓波形,致使電子碰撞工作氣體的幾率大為增多,工作氣體離化率高,等離子阻抗低,射頻磁控濺射膜層沉積速率為二極射頻濺射的數(shù)倍。在玻璃管兩端各接一平板電極,壓力、放電管尺寸、電極材料、形狀和距離有關(guān)。輝光放電的特征是電流強(qiáng)度較小(約幾毫安),溫度不高,故電管內(nèi)有特殊的亮區(qū)和暗區(qū),呈現(xiàn)瑰麗的發(fā)光現(xiàn)象。 。