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金剛石線切割設(shè)備
金剛石線切割設(shè)備成為研究和發(fā)展的主流趨勢,本文介紹國外硅片切割設(shè)備研究的新進(jìn)展以及國內(nèi)發(fā)展?fàn)顩r,并介紹筆者參與研制的金剛石環(huán)形線鋸機(jī)的功能、特點(diǎn)和設(shè)計心得體會及金剛石單線和環(huán)線切割機(jī)應(yīng)用前景展望。
目前,硬脆性材料,如單晶硅、多晶硅、寶石、玻璃、陶瓷等,具有優(yōu)良、穩(wěn)定的物理和化學(xué)性能(如抗腐蝕性、電絕緣性,耐磨損性等),在電子、光學(xué)及其它領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用、,特別是單晶硅、多晶硅、陶瓷材料被廣泛用于太陽能光伏產(chǎn)業(yè)、半導(dǎo)體、真空電鍍等高精端產(chǎn)業(yè)中。伴隨半導(dǎo)體、光伏材料技術(shù)的發(fā)展,需求量不斷增加,切割加工量大幅增長,由于硬脆材料硬度高、脆性大,因此加工難度較大。國內(nèi)半導(dǎo)體制造和光伏電池上游加工,包括:去頭尾、截斷、開方等的加工,大部分仍然采用金剛石帶鋸設(shè)備。
金剛石線切割
金剛線切割技術(shù)的突破是硅片加工成本下降的重要途徑。金剛石線切割速度是普通鋼線的2 倍,因此單位產(chǎn)量的折舊、人工和能源成本將降低一半。金剛線的價格已大幅下降,應(yīng)用前景大大增強(qiáng)。硅片是晶體硅光伏電池技術(shù)中昂貴的部分, 所以降低這部分的制造成本對于提高太陽能對傳統(tǒng)能源的競爭力至關(guān)重要。因此在硅片切割工藝中我們需要面對多項(xiàng)挑戰(zhàn),主要聚焦于光伏產(chǎn)業(yè)金剛線切割的生產(chǎn)效率,也就是單位時間內(nèi)生產(chǎn)的硅片數(shù)量。切割大尺寸坯料時磨料難以進(jìn)入到長而深的切縫,磨漿的處理和回收成本較高。
金剛線切割
在光伏領(lǐng)域,為了滿足市場對于更低成本和更高生產(chǎn)效率的要求,金剛線技術(shù)的研究和產(chǎn)業(yè)化,將進(jìn)一步縮小硅片厚度并降低了切割過程中的材料損耗,從而減少了太陽能電力的硅材料消耗量。
(1) 采用金剛線切割,輔材單片成本可下降0.3-0.4元/片;
(2) 金剛線切割出片率較砂漿線切割出片率每公斤多出10片,硅料成本下降;
(3) 采用金剛線切割每刀用時3-3.5h,較砂漿線切割效率可提升至少一倍;能耗成本亦大幅縮減;
精密切割機(jī)
金剛石線切割機(jī)的選擇:
當(dāng)切割樣品較小,切割深度較小時通??蛇x用小型金剛石線切割機(jī)。
市場上有專為材料研究人員而設(shè)計,用于脆性材料樣品的精密切割機(jī)??捎糜诟鞣N不同硬度材料的切割,特別是適用于脆性、易解理的晶體切割;操作簡便,加工質(zhì)量優(yōu)良;設(shè)備小巧,無需占用大面積位置。
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