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大家在使用鍍鎳砂時(shí)一個(gè)主要困擾是:砂的鍍覆活性不穩(wěn)定,由此導(dǎo)致上砂質(zhì)量的波動(dòng)。不穩(wěn)定的一個(gè)主要原因是砂的退鍍,那為什么鍍鎳砂容易退鍍呢?可能這篇文章能給你一些答案。
鍍鈦砂和鍍鎢砂,都屬于高耐腐蝕砂,鍍層穩(wěn)定。比如,日本使用鍍鈦砂,耐久性2-3個(gè)月,有利于產(chǎn)品質(zhì)量穩(wěn)定和產(chǎn)線的自動(dòng)化。
射頻濺射
采用射頻電源代替直流電源,在靶和襯底間施加高頻電壓,濺射時(shí),靶極會產(chǎn)生自偏壓效應(yīng)(即靶極會自動(dòng)處于負(fù)電位狀態(tài)),使絕緣靶的濺射得到維持。常用的頻率約為13.56兆赫。
優(yōu)點(diǎn)可以濺射所有材料,包括導(dǎo)體和絕緣體濺射可大規(guī)模生產(chǎn)
磁控濺射
磁控濺射通過在靶陰極表面引入正交電磁場,把二次電子束縛在靶表面,成螺旋狀運(yùn)行來增強(qiáng)電離效率,增加離子密度和能量以增加濺射率。電源方面可同時(shí)配備直流和射頻兩種。