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壓力差的維持依靠新風(fēng)量,這個新風(fēng)量要能補償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風(fēng)量。所以壓力差的物理意義就是漏泄(或滲透)風(fēng)量通過潔凈室的各種縫隙時的阻力。凈化工程在設(shè)計時,無論是新建還是重新改造的凈化車間,都一定依照國家相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)、規(guī)范進(jìn)行。具體工藝對溫度的要求以后還要列舉,但作為總的原則看,由于加工精度越來越精細(xì),所以對溫度波動范圍的要求越來越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。
1級:主要應(yīng)用于電子工業(yè),這是目前對凈化工程要求高的環(huán)境,集成電路要求的精度要達(dá)到亞微米。隨著微電子工業(yè)技術(shù)領(lǐng)域的突飛猛進(jìn),對潔凈室的要求越來越高。及時生產(chǎn)間內(nèi)的例子直徑僅有1微米,也會使產(chǎn)品壽命受到影響。凈化工程的步的關(guān)鍵是設(shè)計,工程設(shè)計水平的好與壞將直接關(guān)系到整個工程之后的施工,還會影響凈化工程今后的穩(wěn)定性、可靠性、經(jīng)濟(jì)性。在實際施工中,凈化項目通常分為專業(yè),分工和分時。 這種安排有利于各種專業(yè)和工作類型的管理。 但是,易于進(jìn)行多塵和無塵的交叉操作,應(yīng)盡可能避免這種結(jié)構(gòu)布置。 如果不可避免,應(yīng)該防止灰塵和有效清潔。
100級:是常用的凈化工程,除了對空氣中的塵埃數(shù)有要求,對空氣中細(xì)菌的濃度也有明確要求。一般用于行業(yè)進(jìn)行無菌制造,例如制造臨床用于植入體內(nèi)的物品,藥品生產(chǎn)。醫(yī)學(xué)科學(xué)實驗也在此環(huán)境中,包括實驗動物飼養(yǎng)環(huán)境。1000級 一般只對塵埃濃度做要求,用于光學(xué)器件,儀器等高精儀器等10000級,用于液壓設(shè)備的生產(chǎn),和一些食品飲料的生產(chǎn)。100000級,這個級別比較的低,對凈化度要求不是很高,主要在印刷廠,包裝廠等。凈化工程的一般施工程序:粉塵作業(yè),無塵作業(yè)后,不允許交叉作業(yè)。 否則會影響項目的質(zhì)量。 也就是說,在完成所有粉塵產(chǎn)生操作之后,可以進(jìn)行無塵操作。
壓力差的維持依靠新風(fēng)量,這個新風(fēng)量要能補償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風(fēng)量。所以壓力差的物理意義就是漏泄(或滲透)風(fēng)量通過潔凈室的各種縫隙時的阻力。潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力。潔凈度級別高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度級別低的空間的壓力。相通潔凈室之間的門要開向潔凈度級別高的房間"直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就引起了0.24um線性膨脹,所以必須有±0.1度的恒溫,同時要求濕度值一般較低,因為人出汗以后,對產(chǎn)品將有污染,特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間,這種車間不宜超過25度。