無塵凈化車間工程，由中央空調(diào)和空氣凈化系統(tǒng)組成，它們就是凈化系統(tǒng)的心臟。主要控制無塵凈化車間空氣灰塵微粒數(shù)，調(diào)節(jié)車間溫度和溫度。) 風淋室、更衣室、凈化間是車間凈化系統(tǒng)的三個基本組成部分。風淋室是進出潔凈區(qū)的通道，利用噴出的高速潔凈氣流，可以有效并且迅速地清除人體所帶的塵埃及細菌。凈化間采用夾層彩鋼板隔離空間以及墻壁，上部彩鋼天花吊頂，地板用環(huán)氧樹脂鋪成。

　微電子C/R建設費可能花費到$10億。fab能更快的被建造起來，產(chǎn)品也就能更快達到這市場。許多半導體公司的口號是較便宜和較好的。然而“錢”將成為一個很重要的考慮因素。一些廠商認為適應性可節(jié)省一筆金錢，而適應性意指系統(tǒng)可任意移動或改變而不會招致到大的損失。C/R的擁有者和設計者的能力為改變一C/R的關鍵，所以他們從不將一開始的設計定型。

對C/R而言，其選擇地板的材料也是很重要的。低廉的C/R地板覆蓋著一層乙烯基在薄板上，若太硬的地板覆蓋會引起塵埃，而太軟的地板會造成地板彎曲甚致裂，但并不是所有C/R的地板，都會覆蓋，乙烯基。有些地板是沖孔式、格子式，而多面層流都是沖孔式。乙烯基有一作用即脫氧，但高濃度乙烯基與其它物若混合的話將會有減低脫氧的效果，而無塵室的墻若以鋁作為材料則將會非常昂貴，但鋁卻可以保護墻面不被空氣所氧化，可是卻易受酸性氣體的侵蝕，而避免的方法是使用電鍍，便鋁表面增厚，不易氧化，再在鋁表面上再涂上一層亮光漆即可防止金屬氧化。