LaAlO3晶體是以定化學(xué)配比的La2O3和Al2O3為原料,在200℃下用提拉法生長的，然后經(jīng)標(biāo)準(zhǔn)工藝切割和拋光,制成5×10mm2的LaAlO3晶片。鋁酸鑭晶體室溫為三角相,空間群為R3c,屬反鐵電體;在高溫560°以上為立方相,空間群為Pm3m,屬鈣鈦礦型結(jié)構(gòu)。室溫時(shí)，鋁酸鑭屬于三方晶系(對稱群R3c)，是立方相中AlO6八面體繞一個(gè)三次軸旋轉(zhuǎn)角度ф形成的。

LaAlO3晶體因其與超導(dǎo)、鐵電、Mn氧化物巨磁電阻薄膜等有良好的晶格匹配性能,因而被廣泛地用作生長外延薄膜的襯底材料.鋁酸鑭（LaAlO3）晶體在常溫下為三角晶系,其折射率橢球?yàn)樾D(zhuǎn)橢球。鋁酸鑭的制備方法主要有：燃燒合成法、共沉淀法、均勻沉淀法、溶膠凝膠法、醇鹽水解法和液相混合法。鑭、鋁的源材料一般為金屬氧化物、無機(jī)鹽或醇鹽。

用基于原子層控制異質(zhì)外延技術(shù)，在硅基上實(shí)現(xiàn)了無界面層外延生長，制備出高介電常數(shù)的鋁酸鑭薄膜，降低了超薄高介電常數(shù)薄膜漏電流，解決了下一代場效應(yīng)器件的關(guān)鍵技術(shù)之一。鋁酸鑭晶體具有鈣鐵礦型結(jié)構(gòu).在溫度大約為800K時(shí),該結(jié)構(gòu)經(jīng)歷了一個(gè)從立方到三角的相變，對于晶體中的順磁離子,相變會引起一些能級的分裂,并發(fā)生ERPg因子從各向同性到各向異性的轉(zhuǎn)變。