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光刻膠市場
全球光刻膠市場擴增,對光刻膠的總需求不斷提升。據(jù)估計,2015年國際光刻膠市場達73.6億美元,其中PCB光刻膠占比24.5%,LCD光刻膠占26.6%,半導體光刻膠占比24.1%。2010年到2015年期間,國際光刻膠市場年復合增長率約為5.8%;據(jù)中國產(chǎn)業(yè)信息網(wǎng)數(shù)據(jù),2015年,PCB光刻膠、LCD光刻膠和半導體光刻膠的國際市場增速均在5%左右。在下游產(chǎn)業(yè)的帶動下,江瀚咨詢預計國際光刻膠市場規(guī)模在2022年可能突破100億美元。前道工藝出了問題,保證不了科研與生產(chǎn),光刻膠國產(chǎn)化就遙遙無期。
在光刻膠的生產(chǎn)上,我國主要生產(chǎn)PCB光刻膠,LCD光刻膠和半導體光刻膠生產(chǎn)規(guī)模較小, 2015年據(jù)統(tǒng)計我國光刻膠產(chǎn)量為9.75萬噸,其中中低端PCB光刻膠產(chǎn)值占比為94.4%,半導體和LCD光刻膠分分別占比1.6%和2.7%,嚴重依賴進口。五、曝光在這一步中,將使用特定波長的光對覆蓋襯底的光刻膠進行選擇性地照射。
縱觀全球市場,光刻膠專用化學品生產(chǎn)壁壘高,國產(chǎn)化需求強烈。 化學結構特殊、保密性強、用量少、純度要求高、生產(chǎn)工藝復雜、品質(zhì)要求苛刻,生產(chǎn)、檢測、評價設備投資大,技術需要長期積累。
至今光刻膠專用化學品仍主要被被日本合成橡膠(JSR)、東京應化(TOK)、住友化學、美國杜邦、美國futurrex、德國巴斯夫等化工寡頭壟斷。
芯片光刻的流程詳解(二)
所謂光刻,根據(jù)維基百科的定義,這是半導體器件制造工藝中的一個重要步驟,該步驟利用曝光和顯影在光刻膠層上刻畫幾何圖形結構,然后通過刻蝕工藝將光掩模上的圖形轉移到所在襯底上。這里所說的襯底不僅包含硅晶圓,還可以是其他金屬層、介質(zhì)層,例如玻璃、SOS中的藍寶石。下游發(fā)展趨勢光刻膠的質(zhì)量和性能是影響集成電路性能、成品率及可靠性的關鍵因素。
光刻的基本原理是利用光致抗蝕劑(或稱光刻膠)感光后因光化學反應而形成耐蝕性的特點,將掩模板上的圖形刻制到被加工表面上。
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光刻膠存儲條件及操作防護
光刻膠是一種可燃液體,儲存條件應符合對應的法規(guī),不要與強氧化劑混合,存放在通風良好的地方,保持容器密閉,避免吸入蒸汽或霧氣,避免接觸眼睛、皮膚或衣服,操作后徹底清洗。
個人防護
眼睛:佩戴化學飛濺護目鏡。
皮膚:戴上適當?shù)姆雷o手套防止皮膚暴露。
服裝:穿戴合適的防護服防止皮膚暴露。
呼吸器:無論何時在工作環(huán)境下呼吸保護必須遵循中國職業(yè)安全健康管理局標準的規(guī)定和ANSI美國國家標準學會Z88.2的相關要求,或必須執(zhí)行歐洲呼吸防護EN 149的標準。