石英撓性加速度計的高精度信號處理是基于力矩平衡原理、采用伺服回路實現(xiàn),伺服回路的性能是制約石英撓性加速度計性能提高的關(guān)鍵因素之一。 現(xiàn)有技術(shù)方案中,混合集成式模擬伺服回路因集成電路工藝問題,精度較低;分立元件式伺服回路集成度低,傳輸電容信號、極易受寄生電容影響,實用性較低。石英撓性加速度計主要有4個分類，分別是SRJ-1、SRJ-2、SRJ-3和SRJ-4等，產(chǎn)品具有量程較大，穩(wěn)定性能好，精度高，氣密性能好的特點，主要應(yīng)用在慣性導(dǎo)航系統(tǒng)，平臺慣導(dǎo)系統(tǒng)，并在航空、航天、艦船、慣性測量和制導(dǎo)等行業(yè)。

石英撓性加速度計按其應(yīng)用分為:船用,航空航天用,車載等。三軸石英擾性加速度傳感器批發(fā)選用撓性支承技術(shù)所以稱為石英撓性加速度計，且其結(jié)構(gòu)與工藝大大簡化，這種石英撓性加速度計已廣泛運用于各類現(xiàn)代慣性系統(tǒng)中。三軸石英擾性加速度傳感器批發(fā)的性能指標：測量精度高，重復(fù)性佳，可靠性高體積小，重量輕寬壓供電，功耗低。三軸石英擾性加速度傳感器批發(fā)裝置在運動物體內(nèi)直接測量其加速度，進而得到速度和方位，其測量精度高，動態(tài)功能好，遠比空速度計、里程計好得多。

石英撓性加速度計屬于單軸重力加速度計，其特點是結(jié)構(gòu)簡單，體積小，精度和靈敏度高、可靠性高等。 石英撓性加速度計的工作原理是慣性質(zhì)量受到外界加速度時，相對位置發(fā)生輕微偏移，引起差動電容極板距離的變化導(dǎo)致差動電,三軸石英擾性加速度傳感器批發(fā)是一種檢測差動電容的用伺服電路，同石英電容傳感器配接在一起，構(gòu)成一個完整石英撓性加速度計。 加速度計廣泛用于慣導(dǎo)系統(tǒng)中，測量運動載體的加速度、速度、位置傾角等。該器件采用厚膜混合集成電路工藝技術(shù)制成，主要特點是密封性高、溫度范圍寬、低功耗、體積小、重量輕、可靠性高和無外接元件。