石英加速度傳感器是用撓性支承技術(shù)所以稱為石英撓性加速度傳感器，且其結(jié)構(gòu)與工藝與之野夫式的結(jié)果大大的簡化了。目前這種石英撓性加速度傳感器已廣泛應用于各類現(xiàn)代慣性體系中。為了掌握加速度計內(nèi)部溫度場規(guī)律,得到內(nèi)部的實時溫度,建立石英撓性加速度計的熱模型,進行熱分析。根據(jù)仿模型設(shè)計溫度試驗,驗證了模型的正確性。在加速度計穩(wěn)定狀態(tài)下,溫度值與試驗值差0.2℃左右;根據(jù)試驗結(jié)果對結(jié)果進行修正,將修正后的結(jié)果與試驗結(jié)果進行比較,得到兩者的差值為-0.011℃,有效地提高了結(jié)果的準確性。因此,可以通過修正結(jié)果得到加速度計內(nèi)部的實時溫度。

石英撓性加速度計溫控儀是加速度計生產(chǎn)調(diào)試過程中的關(guān)鍵設(shè)備,作用是為加速度計溫度系數(shù)的測試提供環(huán)境條件。為模擬加速度計的實際工作條件55±3℃，生產(chǎn)過程中必須在55±0.5℃范圍內(nèi)進行輸出信號的測試。石英撓性加速度計生產(chǎn)與應用發(fā)展迅速，因此其相應的溫度控制設(shè)備也非常重要。在溫度測控方面，分段PID加模糊PID控制方法得到了廣泛的應用。模糊控制是以模糊集合論、模糊語言變量及模糊邏輯推理為基礎(chǔ)的計算機智能控制，模糊控制的核心部分是模糊控制器，其控制規(guī)律由計算機的程序?qū)崿F(xiàn)。一個模糊控制系統(tǒng)的性能優(yōu)劣主要取決于模糊控制器的結(jié)構(gòu)、所采用的模糊規(guī)則、合成推理算法以及模糊決策的方法等因素。石英撓性加速度計標定系統(tǒng)中的閉環(huán)檢測電路。開發(fā)了基于單載波調(diào)制的電容檢測電路和伺服驅(qū)動電路，在功率放大電路前引入校正環(huán)節(jié)，提高加速度計系統(tǒng)的動靜態(tài)性能。實驗結(jié)果表明，電容檢測電路線性度好，分辨力可達到10-16 F量級，可檢測到的上限差值電容約為7 pF。

石英撓性加速度計標定是用撓性支承技術(shù)所以稱為石英撓性加速度傳感器，且其結(jié)構(gòu)與工藝與之野夫式的結(jié)果大大的簡化了。石英撓性加速度計是測量線加速度的高精度傳感器,在慣性導航系統(tǒng)中具有重要的作用。石英撓性加速度計屬于單軸重力加速度計，其特點是結(jié)構(gòu)簡單，體積小，精度和靈敏度高、可靠性高等。目前這種石英撓性加速度計已廣泛應用于各類現(xiàn)代慣性系統(tǒng)中。