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對(duì)于大部分潔凈空間,為了防止外界污染侵入,需要保持內(nèi)部的壓力(靜壓)高于外部的壓力(靜壓)。壓力差的維持一般應(yīng)符合以下原則:
1.潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力。
2.潔凈度級(jí)別高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度級(jí)別低的空間的壓力。
3.相通潔凈室之間的門要開向潔凈度級(jí)別高的房間。
壓力差的維持依靠新風(fēng)量,這個(gè)新風(fēng)量要能補(bǔ)償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風(fēng)量。所以壓力差的物理意義就是漏泄(或滲透)風(fēng)量通過(guò)潔凈室的各種縫隙時(shí)的阻力。
對(duì)于平行流潔凈室《習(xí)慣上稱層流潔凈室),由于主要靠氣流的“活塞打擠壓作用排除行染,所以截面上的速度就是非常重要的指標(biāo)。過(guò)去都參考美國(guó)20gB標(biāo)準(zhǔn),采用0.45m/s.但人們也都了解到這樣大速度所需要的通風(fēng)量是極大的,為了節(jié)能,也都在探求降低速一風(fēng)速的可行性。
在我國(guó),《空氣潔凈技術(shù)措施》和<潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范))都是這樣規(guī)定的
垂直平行流(層流)潔凈室≥0.25m/s
水平平行流(層流)潔凈室≥0.35 m/s
研究表明以上規(guī)定基本上滿足控制污染的要求,但認(rèn)為應(yīng)區(qū)別不同情況分出不同的檔別,更能體現(xiàn)節(jié)能的目的。
20世紀(jì)60年代的潔凈工程在美國(guó)、歐洲等發(fā)達(dá)國(guó)家順應(yīng)各行各業(yè)產(chǎn)品生產(chǎn)和科學(xué)實(shí)驗(yàn)活動(dòng)的需要得到了廣泛應(yīng)用,可以認(rèn)為是潔凈工程的大發(fā)展時(shí)期。美國(guó)在1961年誕生了國(guó)際上早的潔凈室標(biāo)準(zhǔn)即美國(guó)空程條令203,并把編制聯(lián)邦政府標(biāo)準(zhǔn)的任務(wù)交給了原子能的出版機(jī)構(gòu);1963年底頒布了個(gè)部分的聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)即FS-209,從此聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)"209"就成為國(guó)際通行的、的潔凈室標(biāo)準(zhǔn); 1966年頒布了修訂后的FS-209A,1957年前蘇聯(lián)顆人造上天后,美國(guó)政府加速發(fā)展宇航事業(yè)、精密機(jī)械加工和電子工業(yè),這些都要求具有受控空氣潔凈的生產(chǎn)環(huán)境,從而帶動(dòng)潔凈工程及其設(shè)備制造的大發(fā)展,1961年單向流潔凈工程和100級(jí)潔凈室的建立,更促進(jìn)了潔凈工程的進(jìn)一步發(fā)展。