大塚電子（蘇州）有限公司主要銷售用于光學(xué)特性評(píng)價(jià)?檢查的裝置。其裝置用于在LED、 OLED、汽車前燈等的光源?照明產(chǎn)業(yè)以及液晶顯示器、有機(jī)EL顯示器等平板顯示產(chǎn)業(yè)以及其相 關(guān)材料的光學(xué)特性評(píng)價(jià)?檢查。歡迎新老客戶來(lái)電咨詢！

測(cè)量示例：

SiO 2 SiN [FE-0002]的膜厚測(cè)量

半導(dǎo)體晶體管通過(guò)控制電流的導(dǎo)通狀態(tài)來(lái)發(fā)送信號(hào)，但是為了防止電流泄漏和另一個(gè)晶體管的電流流過(guò)任意路徑，有必要隔離晶體管，埋入絕緣膜。 SiO 2（二氧化硅）或SiN（氮化硅）可用于絕緣膜。 SiO 2用作絕緣膜，而SiN用作具有比SiO 2更高的介電常數(shù)的絕緣膜，或是作為通過(guò)CMP去除SiO 2的不必要的阻擋層。之后SiN也被去除。 為了絕緣膜的性能和精準(zhǔn)的工藝控制，有必要測(cè)量這些膜厚度。



 

使用顯微光譜法在微小區(qū)域內(nèi)通過(guò)絕i對(duì)反射率進(jìn)行測(cè)量，可進(jìn)行高i精度膜厚度/光學(xué)常數(shù)分析。

可通過(guò)非破壞性和非接觸方式測(cè)量涂膜的厚度，例如各種膜、晶片、光學(xué)材料和多層膜。 測(cè)量時(shí)間上，能達(dá)到1秒/點(diǎn)的高速測(cè)量，并且搭載了即使是初次使用的用戶，也可容易出分析光學(xué)常數(shù)的軟件

1.膜厚測(cè)試儀出現(xiàn)下列情況，必需重新校準(zhǔn)?！　　ば?zhǔn)時(shí)，輸入了一個(gè)錯(cuò)誤值；　　·操作錯(cuò)誤。　　2.在直接方式下，如果輸入了錯(cuò)誤的校準(zhǔn)值，應(yīng)緊接著做一次測(cè)量，隨后再做一次校準(zhǔn)，即可獲取新值消除錯(cuò)誤值。　　3.每一組單元中，只能有一個(gè)校準(zhǔn)值?！　?.零點(diǎn)校準(zhǔn)和二點(diǎn)校準(zhǔn)都可以重復(fù)多次，以獲得更為精準(zhǔn)的校準(zhǔn)值，提高測(cè)量精度但此過(guò)程中一旦有過(guò)一次測(cè)量，則校準(zhǔn)過(guò)程便告結(jié)束。

膜厚測(cè)試儀的預(yù)熱 　　關(guān)機(jī)超過(guò)3個(gè)小時(shí)開機(jī)必做。點(diǎn)擊“波數(shù)”，將波譜校準(zhǔn)片放入儀器，將Ag部分移至十字線中間，鐳射聚焦，設(shè)定測(cè)量時(shí)間為6S重復(fù)測(cè)量次數(shù)為30~50次,點(diǎn)擊Go鍵，等待自動(dòng)連續(xù)測(cè)量完成。