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等離子干法刻蝕技術(shù)是利用等離子體進行薄膜微細加工的技術(shù)。在典型的干法刻蝕工藝過程中,一種或多種氣體原子或分子混合于反應(yīng)腔室中,在外部能量作用下(如射頻、微波等)形成等離子體,干法刻蝕技術(shù)由于具有良好的各向異性和工藝可控性已被廣泛應(yīng)用于微電子產(chǎn)品制造領(lǐng)域,憑借在等離子體控制、反應(yīng)腔室設(shè)計、刻蝕工藝技術(shù)、軟件技術(shù)的積累與創(chuàng)新,北方華創(chuàng)微電子在集成電路、半導(dǎo)體照明、微機電系統(tǒng)、先進封裝、功率半導(dǎo)體等領(lǐng)域可提供高端裝備及工藝解決方案。形成了對硅、介質(zhì)、化合物半導(dǎo)體、金屬等多種材料的刻蝕能力,其中應(yīng)用于集成電路領(lǐng)域的硅刻蝕機已突破14nm技術(shù),進入主流芯片代工廠,其余各類產(chǎn)品也憑借其優(yōu)異的工藝性能成為了客戶的。
金屬蝕刻就是先在基板上用絲印或網(wǎng)印的方式把基板上需要保護的部位遮住,然后用化學或電化學方式侵蝕掉不需要的部位,后退去保護膜,得到制品的一種加工方式。
是生產(chǎn)標牌、電路板、金屬工藝品、金屬版畫等過程中的關(guān)鍵步驟。的技術(shù)工業(yè)生產(chǎn)應(yīng)用是在印刷絲路版,因絲路板的絲線細而密,機械加工很難完成。不同的金屬材料,性質(zhì)各不相同,蝕刻圖型的精度不同,蝕刻深度不同,所采用的蝕刻方法、工藝以及所用蝕刻液的配方大不一樣,所采用的感光抗蝕材料也各不相同。
下料
1、選板材
我司所用薄金屬原材料均為韓國進口65黃銅板材,材料到廠后,由專業(yè)人員進行精選,要求所用板材表面光亮,色澤圓潤飽滿無瑕疵,次品板材退回廠家。
2、剪裁及修邊
根據(jù)設(shè)計好的尺寸,選好的銅材每邊都放幾毫米的余量,做上標記點,進行剪裁, 剪裁好的銅材四邊往往有細微毛刺,用銼刀打磨干凈,銼完后用手摸,直至邊緣光滑即可。
3、清除油污
把銅材置于超聲波儀器進行清洗,清洗后再用清水沖洗, 再用專業(yè)烘干機對銅材進行烘干,要求至表面洗干凈無油漬、不留下水漬。