潔凈室中的溫濕度控制。潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來確定，但在滿足工藝要求的條件下，應(yīng)考慮到 人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現(xiàn)了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴(yán)的趨勢。凈化工程在設(shè)計時，無論是新建還是重新改造的凈化車間，都一定依照國家相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)、規(guī)范進行。我們國家的空氣分子控制等的技術(shù)正在朝有利的方向發(fā)展，這項技術(shù)原先是由日本發(fā)展起來的，現(xiàn)在已經(jīng)受到了全世界的關(guān)注和認(rèn)可，在我們國家，這項技術(shù)已經(jīng)受到了相關(guān)行業(yè)的重視并且投入研發(fā)，相信在不久的未來，我們國家的相關(guān)科研人員一定會在這個領(lǐng)域取得讓人滿意的成績，為我們國家的凈化工程行業(yè)做出貢獻。

1級：塵埃易使芯片失效或者穩(wěn)定性下降，當(dāng)金屬塵埃落于集成電路上時，就可能造成短路。當(dāng)空氣中的酸性離子落在電路上時，可能將電路腐蝕，因此凈化空調(diào)系統(tǒng)對微電子工業(yè)而言至關(guān)重要。此外，液晶、光纖的生產(chǎn)也需要1級潔凈度的要求。具體工藝對溫度的要求以后還要列舉，但作為總的原則看，由于加工精度越來越精細(xì)，所以對溫度波動范圍的要求越來越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。相對濕度越高,粘附的難去掉，但當(dāng)相對濕度低于30%時，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面，同時大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿。對于硅片生產(chǎn)溫度范圍為35—45%。

凈化工程在設(shè)計時，無論是新建還是重新改造的凈化車間，都一定依照國家相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)、規(guī)范進行。設(shè)計凈化系統(tǒng)組織的原則是相鄰二級過濾器的效率不能太接近，也不能相差太大。一般采用初效、中效、亞(或)三級過濾器。也可分四級，增加一級過濾器。地面可采用環(huán)氧自流坪地坪或耐磨塑料地板，有防靜電要求的，要選用防靜電型。送回風(fēng)管道一般用鍍鋅鋼板，不宜選用玻璃棉類材料保溫。照明應(yīng)選用凈化車間燈具。

凈化工程在設(shè)計時，工程的墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板，其特點為美觀、剛性強。圓弧墻角、門、窗框等一般采用氧化鋁型材。100級：是常用的凈化工程，除了對空氣中的塵埃數(shù)有要求，對空氣中細(xì)菌的濃度也有明確要求。一般用于行業(yè)進行無菌制造，例如制造臨床用于植入體內(nèi)的物品，藥品生產(chǎn)。醫(yī)學(xué)科學(xué)實驗也在此環(huán)境中，包括實驗動物飼養(yǎng)環(huán)境。設(shè)計凈化系統(tǒng)組織的原則是相鄰二級過濾器的效率不能太接近，也不能相差太大。一般采用初效、中效、亞(或)三級過濾器。也可分四級，增加一級過濾器。