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潔凈室中的氣流速度規(guī)定:這里要討論的氣流速度是指潔凈室內(nèi)的氣流速度,在其他潔凈空間中的氣流速度在討論具體設(shè)備時再說明。對于平行流潔凈室《習(xí)慣上稱層流潔凈室,由于主要靠氣流的“活塞打擠壓作用排除行染,所以截面上的速度就是非常重要的指標(biāo)。過去都參考美國20gB標(biāo)準(zhǔn),采用0.45m/s.但人們也都了解到這樣大速度所需要的通風(fēng)量是極大的,為了節(jié)能,也都在探求降低風(fēng)速的可行性。
無塵潔凈室是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、細(xì)菌等之污染物排除,并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi),而所給予特別設(shè)計(jì)建成的無塵潔凈房間。
每立方米將小于0.5微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個以下,就達(dá)到了國際無塵標(biāo)準(zhǔn)的A型級別。應(yīng)用在芯片級生產(chǎn)加工的無塵標(biāo)準(zhǔn)對于灰塵的要求高于A型級別,這樣的高標(biāo)主要被應(yīng)用在一些等級較高芯片生產(chǎn)上。微塵數(shù)量被嚴(yán)格控制在每立方米1000個以內(nèi),這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級別。
隨著科學(xué)技能的發(fā)展,工業(yè)產(chǎn)品的更新?lián)Q代很快,人們對生活質(zhì)量要求也越來越高,工業(yè)潔凈室凈化工程、生物潔凈室凈化工程的建造一日千里,因此潔凈室凈化工程規(guī)劃自身便具有高新技能、技能密集和資金密集的特點(diǎn),為了進(jìn)步潔凈室凈化工程建成后的技能經(jīng)濟(jì)效益,在進(jìn)行潔凈室凈化工程規(guī)劃時應(yīng)設(shè)法盡可能地考慮一定的靈活性,以便使建成后的潔凈室凈化工程能跟著科學(xué)技能的發(fā)展能夠隨便地進(jìn)行技能改造,適應(yīng)產(chǎn)品換代或設(shè)備更新的要求。