技術(shù)是市場需求的動力。由于真空技術(shù)，擴(kuò)展和高新技術(shù)的迅猛發(fā)展，國內(nèi)市場對真空泵的技術(shù)水平提出了更高的要求。真空泵的生產(chǎn)企業(yè)必須通過技術(shù)創(chuàng)新和產(chǎn)品結(jié)構(gòu)的調(diào)整兩方面保持原有的市場，從而繼續(xù)擴(kuò)大市場份額。提高真空泵的可靠性，降低振動和噪聲，注意真空泵的綜合水平。在過去的幾年中，真空泵生產(chǎn)廠家關(guān)注的主要性能指標(biāo)，比如，極端的壓力，泵送速度等，而忽略了真空泵的綜合性能。

(1)真空室內(nèi)排氣流量的計算。在正常的工藝過程中，真空室內(nèi)所產(chǎn)生的氣流量應(yīng)當(dāng)由主泵及時抽走，以保證真空室內(nèi)的壓強符合工作真空度的要求。 工藝過程中的氣流量可用下式計算 Q=Qg Qn Qf Ql (Pa .m3 /S) 式中 Q---真空室中產(chǎn)生的總的氣流量， Qg--工藝過程中被熔煉或被處理的材料放出的氣流量，Pa.m3/s; Qn--真空室內(nèi)所用耐火保溫材料的出氣流量，Pa.m3/s; Qf--暴露于真空條件下的真空室內(nèi)壁和所有構(gòu)件表面解析出來的氣流量，Pa.m3/s; Ql--真空室外大氣通過各密封連接處泄漏到真空室內(nèi)的氣流量，Pa.m3/s, 以上各量在不同的真空應(yīng)用設(shè)備中不一定都存在，這要根據(jù)實際情況具體考慮。

 (2)被抽容器所要求的有效抽速的計算。設(shè)被抽容器內(nèi)的排氣流量為Q(單位為Pa.m3/s)，所要求的工作壓力為Pg(單位為Pa)，則根據(jù)真空容器所要求的工作壓力Pg和排氣流量Q，可得被抽容器出口處主泵的有效抽速Sez

針對真空泵腐蝕的修復(fù)方法：

徹底清除表面氧化層，用將表面清洗干凈。噴砂、打磨、涂防腐蝕涂層保護(hù)，專業(yè)的安裝方式完工。

愛發(fā)科NRL系列在低溫領(lǐng)域下的均熱化，除PVD工藝外，龍其適用于希望提高流量，縮短非氣時間的重要工藝腔體的排氣。

愛發(fā)科真空泵NRL180A特點：

低噪音、低振動、的耐腐蝕性。

標(biāo)準(zhǔn)零部件采用高硬度并經(jīng)過優(yōu)異的防腐蝕特殊表面處理，降低對府蝕性氣體排氣時泵體內(nèi)部的腐蝕程度。