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OPTM膜厚儀價(jià)格在線咨詢「在線咨詢」

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發(fā)布時(shí)間:2020-07-20 05:30  

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考慮到表面粗糙度測(cè)量的膜厚值[FE-0007]

當(dāng)樣品表面存在粗糙度(粗糙度)時(shí),將表面粗糙度和空氣(air)及膜厚材料以1:1的比例混合,模擬為“粗糙層”,可以分析粗糙度和膜厚度。此處示例了測(cè)量表面粗糙度為幾nm的SiN(氮化硅)的情況。



膜厚儀測(cè)試時(shí)有關(guān)輻射安全注意事項(xiàng)

幅射安全方面膜厚儀由于使用X射線管而產(chǎn)生輻射。測(cè)量頭的設(shè)計(jì)完全符合國(guó)際X射線安全要求:  ·測(cè)量頭控制臺(tái)上的一個(gè)鑰匙開關(guān)通過(guò)打開或關(guān)閉X射線管上的高壓決定X幅射的產(chǎn)生與否;  ·一個(gè)多級(jí)故障自動(dòng)保險(xiǎn)互鎖系統(tǒng)可控制X幅射的產(chǎn)生,從而有效保護(hù)操作者的安全;  ·如果測(cè)量門沒有完全關(guān)閉,X幅射就不會(huì)進(jìn)入測(cè)量室;  ·足夠的遮罩用來(lái)減小外部的幅射量。


膜厚儀是一種比較精密的監(jiān)測(cè)設(shè)備,它在平時(shí)的使用中對(duì)于精準(zhǔn)度的要求很高,但是還是會(huì)有誤差的現(xiàn)象發(fā)生,除了儀器本身的一些故障以外,環(huán)境因素也是造成誤差的一大“元兇”。


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