流量控制器能用于控制腐蝕性氣體和特殊氣體嗎? 如何選擇密封材料?

質(zhì)量流量控制器可以用于控制各種氣體, 包括腐蝕性氣體和特殊氣體, 但是要注意, 對于使用腐蝕性氣體和特殊氣體, 需要恰當(dāng)選擇型號(hào)和密封材料。用戶在訂貨時(shí), 需要向供貨廠商特殊聲明使用氣體, 以免因?yàn)檫x型或選擇密封材料錯(cuò)誤, 造成嚴(yán)重?fù)p失。

通常氣體質(zhì)量流量控制器接觸工作氣體的濕材料為316L不銹鋼、聚四氟乙烯和密封材料等, 密封材料又分為金屬密封和橡膠密封兩大類。在探頭設(shè)計(jì)中，盡可能采用導(dǎo)熱系數(shù)小的材料制造構(gòu)架并采用絕熱、絕緣硅膠對探頭密封以減少導(dǎo)熱量。金屬密封的材料一般為不銹鋼、金或鎳等耐腐蝕材料。采用金屬密封的MFC原則上可以用于任何氣體, 包括各種腐蝕性氣體和特種氣體。

由于金屬密封的MFC價(jià)格較高, 通常要求不高的場合, 均采用橡膠密封的MFC。若在其進(jìn)口端裝一塊或二快多孔板式流動(dòng)調(diào)整器（整流器）后，則其長度可大為縮短。如果不特殊聲明, MFC都采用氟橡膠密封, 可以用于大多數(shù)酸性和堿性腐蝕性氣體, 例如可以用于鹵族干燥氣體。其它一些特殊腐蝕性氣體, 需要采用特種橡膠。氨氣——需要采用耐氨橡膠, 如乙丙橡膠、氯丁橡膠或丁晴橡膠;  三氯化硼等——需要采用全氟橡膠。

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什么是流量控制器

質(zhì)量流量控制器，即MassFlowController(MFC)，不但具有質(zhì)量流量計(jì)的功能，更重要的是，它能自動(dòng)控制氣體流量，即用戶可根據(jù)需要進(jìn)行流量設(shè)定，MFC自動(dòng)地將流量恒定在設(shè)定值上，即使系統(tǒng)壓力有波動(dòng)或環(huán)境溫度有變化，也不會(huì)使其偏離設(shè)定值。流量控制器基本原理通過測量氣體流經(jīng)流量器內(nèi)加熱元件時(shí)的冷卻效應(yīng)來計(jì)量氣體流量的。質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller縮寫為MFC）用于對于氣體或者液體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測量和控制。擴(kuò)散，氧化，分子束外延，CVD，等離子刻蝕，濺射，離子注入，以及真空鍍膜設(shè)備，光纖熔煉，微反應(yīng)裝置，混氣配氣系統(tǒng)，毛細(xì)管測量氣象色譜儀，光導(dǎo)纖維制造設(shè)備中。并廣泛用于石油化工。冶金，制藥等。特點(diǎn)：精度高，重復(fù)性好。

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分析流量控制器的應(yīng)用領(lǐng)域

分流器決定主通道的流量。這樣很容易實(shí)現(xiàn)對流量的數(shù)字顯示﹑累積流量自動(dòng)計(jì)量﹑數(shù)據(jù)自動(dòng)記錄﹑計(jì)算機(jī)管理等。與它配套的流量顯示儀上設(shè)置有穩(wěn)壓電源，數(shù)字電壓表，設(shè)定電位器，外設(shè)、內(nèi)設(shè)轉(zhuǎn)換和三位閥控開關(guān)等。質(zhì)量流量控制器抗干擾能力強(qiáng)，測量精度高、量程比大、工作穩(wěn)定可靠、對安裝要求低、對流體狀態(tài)要求低，壓力損失小等優(yōu)點(diǎn)，且易清洗、具備自排空功能。

其基本技術(shù)指標(biāo)已達(dá)到先進(jìn)水平，每臺(tái)傳感器都由不銹鋼材料制造，多種輸出能滿足您的各種需求。流量控制器熱式質(zhì)量流量器的基本原理是利用外部熱源對管道內(nèi)的被測流體加熱，熱能隨流體一起流動(dòng)，通過測量因流體流動(dòng)而造成的熱量（溫度）變化來反映出流體的質(zhì)量流量。可直接用來測量管道中介質(zhì)的質(zhì)量流量及總量、體積流量及總量、介質(zhì)的密度、溫度、溶液的濃度以及較均勻混合的兩種液體各自的濃度等參數(shù)。質(zhì)量流量控制器即使在惡劣的工作環(huán)境下也能表現(xiàn)出優(yōu)異的性能

提高流量測量系統(tǒng)的可靠性用于安全聯(lián)鎖報(bào)警的流量儀表如果不可靠，應(yīng)該聯(lián)鎖動(dòng)作時(shí)不動(dòng)作，容易釀成事故，不該動(dòng)作時(shí)亂動(dòng)作，容易導(dǎo)致不應(yīng)有的停車，造成損失。為避免測溫和加熱元件因與被測流體直接接觸而被流體玷污和腐蝕，可采用非接觸式測量方法，即將加熱器和測溫元件安裝在薄壁管外部，而流體由薄壁管內(nèi)部通過。工業(yè)爐窯中的燃料流量計(jì)如果不可靠，造成流路堵塞，容易導(dǎo)致爐子熄火，釀成事故。用于過程控制的質(zhì)量流量控制器儀表如果不可靠，容易為調(diào)節(jié)系統(tǒng)發(fā)出錯(cuò)誤信息，導(dǎo)致調(diào)節(jié)系統(tǒng)失調(diào)，破壞生產(chǎn)過程的穩(wěn)定，影響產(chǎn)品的質(zhì)量、產(chǎn)量和物耗，造成損失?？梢钥闯觯髁績x表的可靠性是較為重要的。

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如何提高流量控制器的準(zhǔn)確度？

提高氣體質(zhì)量流量控制器實(shí)用準(zhǔn)確度的措施為：

1.針對氣體質(zhì)量流量控制器的實(shí)際工藝參數(shù)，對該流量計(jì)進(jìn)行“個(gè)性化標(biāo)準(zhǔn)”，從而實(shí)現(xiàn)在實(shí)際使用流量點(diǎn)的一定范圍內(nèi)，該氣體質(zhì)量流量控制器的實(shí)際測量誤差(與標(biāo)準(zhǔn)值的差)趨于零。

2.把好氣體質(zhì)量流量控制器的安裝環(huán)節(jié)，減少或消除機(jī)械應(yīng)力、機(jī)械扭力和機(jī)械振動(dòng)等對該流量計(jì)使用的影響。

3.考慮工藝壓力、溫度等對氣體質(zhì)量流量控制器測量準(zhǔn)確度的影響。

4.把好氣體質(zhì)量流量控制器的投用關(guān)。