質(zhì)量流量控制器概述

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熱式質(zhì)量流量控制器，利用氣流流過毛細(xì)管，改變毛細(xì)管溫度分布，造成上下游溫差方法，而測得氣體質(zhì)量流量。不同于容積式流量計(jì)，其流量精度不受氣體壓力、環(huán)境溫度影響。由于上下游溫差總是實(shí)時(shí)反應(yīng)氣流瞬時(shí)流量， 所以特別適用于過程控制中的氣體流量的精密測量和控制。

質(zhì)量流量控制器的常見問題

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實(shí)際使用中發(fā)現(xiàn)，當(dāng)輸入的氣體不同時(shí)控制顯示的數(shù)值與實(shí)際不符，其實(shí)原因很簡單，因?yàn)樵贛FC行業(yè)中，有一種參數(shù)叫CF，即氣體轉(zhuǎn)換系數(shù)（下面簡稱CF）。而MFC行業(yè)中又把N2（氮?dú)猓┒x為標(biāo)準(zhǔn)氣體M。N2的C值為1.00，其他的氣體以氮?dú)鉃橹行?，分布?.1到1.4左右。CF大于1.00的代表氣體是單原子氣體He(氦)、Xe(氙)。和N2相近的氣體有02（氧氣）、H2（氫氣）、F2（氟）等。0.5以下的有SF6、WF6、SiCl4等。如果是幾種氣體的混合在一起的話，簡單的分析其比率，用各自的CF值計(jì)算即可。

假設(shè)某臺(tái)MFC是用N2標(biāo)定的，但是實(shí)際流過的氣體是He，實(shí)際的流量比N2多。各個(gè)廠家的He的CF值稍有不同，但大約都在1.4，所以簡單的說就是He氣相同示數(shù)時(shí)，是N2的1.4倍流量。反過來，如果N2流過He的MFC，實(shí)際的流量大約是1÷1.4=約0.71，少30%的流量。

因此控制器發(fā)現(xiàn)流量不準(zhǔn)時(shí)，考慮出廠標(biāo)定CF是否與你的氣源相同。

光纖制造使用質(zhì)量流量控制器

在制作過程中，氣體質(zhì)量流量控制器可以控制燃料氣體加熱預(yù)制件，并幫助控制沉積的每一薄層，也可以控制實(shí)際的氣體，沉積非常純的玻璃。

氣體質(zhì)量流量控制在拉伸過程中把氣被輸入爐區(qū)，防止燃燒。

大約每5毫秒，質(zhì)量流量控制器中傳感器的信號(hào)就會(huì)通過整個(gè)處理過程。

根據(jù)不同的過程及操作壓力，質(zhì)量流量控制器的響應(yīng)時(shí)長將限制在50毫內(nèi)。在一秒鐘內(nèi)，燃燒器和冷卻塔內(nèi)的流量可能要調(diào)節(jié)200多次。