質(zhì)量流量控制器簡介

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使用范圍： 質(zhì)量流量控制器廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、真空鍍膜、分析、化工、環(huán)境等 行業(yè)的氣流測量與控制。

特點：流量精度高、線性好、零漂小、氣流響應(yīng)速度快、過沖小。

質(zhì)量流量計簡介

質(zhì)量流量：

以單位時間內(nèi)流過某截面的流體質(zhì)量表示的流量。氣體質(zhì)量流量一般將其換算成標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的 體積/分鐘 來表示。例如：毫升/分鐘即 mL/min （SCCM行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)）, 升/分鐘即 L/min （SLM行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)）. 標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)為：氣體溫度—— 273.15K (0℃)； 氣壓——101325Pa(1atm)

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流量計的常見類型介紹

1. 容積式流量計，它利用機械測量元件把流體連續(xù)不斷的分割成單個已知的體積部分，根據(jù)測量室逐次重復(fù)的充滿和排放該體積部分流體的次數(shù)來測量流體體積流量。

2. 浮子式流量計，是變面積式流量計的一種，在一根由下向上擴大的垂直錐管中，圓形橫截面的浮子的重力是由液體動力承受的，從而使浮子可以在錐管中自由的上升和下降。

3. 差圧式流量計 ，是根據(jù)安裝于管道中流量檢測件產(chǎn)生的差壓，已知的流體的條件和檢測間與管道的尺寸來計算流量的儀表。

4. 渦街流量計，在流體中安放一根非流線型游渦發(fā)生體，流體在發(fā)生體兩側(cè)交替的分離釋放出兩串規(guī)則地交錯排列的游渦的儀表。

5. 渦輪流量計，是速度式流量計中的主要種類，它采用多葉片的轉(zhuǎn)子（渦輪）感受流體平均流速，從而推導(dǎo)出流量或總量的儀表。

6. 超聲流量計，通過檢測流體流動對超聲束（或超聲脈沖）的作用以測量流量的儀表。

7. 電磁流量計，電磁流量計是根據(jù)法拉弟電磁感應(yīng)定律制成的一種測量導(dǎo)電性液體的儀表。

8. 熱式流量計，熱式流量計傳感器包含兩個傳感元件，一個速度傳感器和一個溫度傳感器。儀表的電加熱部分將速度傳感器加熱到高于工況溫度的某一個定值，使速度傳感器和測量工況溫度的傳感器之間形成恒定溫差。當(dāng)保持溫差不變時，電加熱消耗的能量，也可以說熱消散值，與流過氣體的質(zhì)量流量成正比，它適合單一氣體和固定比例多組份氣體的測量。

科里奧利式流量計，其原理是利用流體在振管內(nèi)流動時產(chǎn)生的科氏力，以直接或間接地方法測量其力而得到流體質(zhì)量流量。

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