磁控濺射種類

用磁控靶源濺射金屬和合金很容易，點(diǎn)火和濺射很方便。這是因?yàn)榘校帢O），等離子體，和被濺零件/真空腔體可形成回路。但若濺射絕緣體如陶瓷則回路斷了。于是人們采用高頻電源，回路中加入很強(qiáng)的電容。目前沒有見到對(duì)磁控濺射靶材利用率專門或系統(tǒng)研究的報(bào)道，而從理論上對(duì)磁控濺射靶材利用率近似計(jì)算的探討具有實(shí)際意義。這樣在絕緣回路中靶材成了一個(gè)電容。但高頻磁控濺射電源昂貴，濺射速率很小，同時(shí)接地技術(shù)很復(fù)雜，因而難大規(guī)模采用。為解決此問(wèn)題，發(fā)明了磁控反應(yīng)濺射。就是用金屬靶，加入Ar和反應(yīng)氣體如氮?dú)饣蜓鯕?。?dāng)金屬靶材撞向零件時(shí)由于能量轉(zhuǎn)化，與反應(yīng)氣體化合生成氮化物或氧化物。磁控反應(yīng)濺射絕緣體看似容易，而實(shí)際操作困難。主要問(wèn)題是反應(yīng)不光發(fā)生在零件表面，也發(fā)生在陽(yáng)極，真空腔體表面，以及靶源表面。從而引起滅火，靶源和工件表面起弧等。其原理是一對(duì)靶源互相為陰陽(yáng)極，從而消除陽(yáng)極表面氧化或氮化。冷卻是一切源（磁控，多弧，離子）所必需，因?yàn)槟芰亢艽笠徊糠洲D(zhuǎn)為熱量，若無(wú)冷卻或冷卻不足，這種熱量將使靶源溫度達(dá)一千度以上從而溶化整個(gè)靶源。

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磁控濺射鍍膜儀設(shè)備在工業(yè)中有什么優(yōu)勢(shì)

磁控濺射鍍膜儀設(shè)備發(fā)展至今，在工業(yè)方面顯的極為重要，其作用范圍廣泛，徹底的改變了傳統(tǒng)的鍍膜行業(yè)。使得鍍膜作業(yè)在生產(chǎn)質(zhì)量方面以及效率方面都得到了較大的提升。那么磁控濺射鍍膜儀設(shè)備在工業(yè)中有什么優(yōu)勢(shì)呢？

磁控濺射鍍膜儀設(shè)備主要有一下優(yōu)勢(shì)：

1、沉積速度快、基材溫升低、對(duì)膜層的損傷小；

2、對(duì)于大部分材料，只要能制成耙材，就可以實(shí)現(xiàn)濺射；

3、濺射所獲得的薄膜與基片結(jié)合較好；

4、濺射所獲得的薄膜純度高、致密性好、成膜均勻性好；

5、濺射工藝可重復(fù)性好，可以在大面積基片上獲得厚度均勻的薄膜；

6、能夠準(zhǔn)確控制鍍層的厚度，同時(shí)可通過(guò)改變參數(shù)條件控制組成薄膜的顆粒大小；

7、不同的金屬、合金、氧化物能夠進(jìn)行混合，同時(shí)濺射于基材上；

8、易于實(shí)現(xiàn)工業(yè)化。

隨著科技的發(fā)展，磁控濺射鍍膜儀設(shè)備在日常中個(gè)方面都有著極大的貢獻(xiàn)，不僅在節(jié)能環(huán)保方面有著重大的提升，更為重要的是其解放了勞動(dòng)人民的雙手，讓勞動(dòng)者徹底的從傳統(tǒng)鍍膜行業(yè)中解放。

我國(guó)真空鍍膜機(jī)行業(yè)發(fā)展現(xiàn)狀和前景分析

當(dāng)前我國(guó)真空鍍膜設(shè)備行業(yè)等傳統(tǒng)制造業(yè)產(chǎn)能過(guò)剩已經(jīng)顯現(xiàn)，倒逼效應(yīng)顯著，國(guó)家大力發(fā)展環(huán)保產(chǎn)業(yè)，對(duì)傳統(tǒng)電鍍行業(yè)予以取締或轉(zhuǎn)型或限產(chǎn)，這正是離子鍍膜行業(yè)發(fā)展的大好時(shí)機(jī)。實(shí)際上，每個(gè)設(shè)備都有使用壽命，例如，擴(kuò)散泵用的硅油，使用壽命為兩年左右，我們提早更換，這是浪費(fèi)嗎。真空鍍膜的高性價(jià)比以及傳統(tǒng)電鍍對(duì)環(huán)境的污染迫使真空鍍膜成為了主流，各種類型各種鍍膜工藝的真空鍍膜設(shè)備不斷增加。

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