潔凈廠房空調(diào)系統(tǒng)特點(diǎn)

潔凈廠房空調(diào)系統(tǒng)與一般民用建筑的空調(diào)系統(tǒng)的不同，它首先對(duì)控制區(qū)的潔凈度有很高要求。導(dǎo)體器件廠房?jī)?nèi)，在硅襯底上只要落有電路線寬1/10～1/3大小的塵埃，就可能導(dǎo)致芯片電路短路。工作人員進(jìn)入無(wú)菌室前，必須用肥皂或消毒液洗手消毒，然后在緩沖間更換專用工作服，鞋，帽子，口罩和手套(或用70%的乙醇再次擦拭雙手)，方可進(jìn)入無(wú)菌室進(jìn)行操作。如今，半導(dǎo)體集成電路的發(fā)展突飛猛進(jìn)，近英特爾公司更是推出了采用32

nm線寬的處理器芯片，把生產(chǎn)環(huán)境的潔凈度控制推向了。另外，潔凈廠房空調(diào)系統(tǒng)除對(duì)潔凈度要求較高外，還對(duì)溫度、濕度、震動(dòng)、噪音等都有不同程度要求。

 同時(shí)，由于半導(dǎo)體器件生產(chǎn)工藝的特點(diǎn)，要求潔凈廠房?jī)?nèi)全天（24h)保持相應(yīng)的潔凈度，目此，潔凈空調(diào)系統(tǒng)(包括排風(fēng)系統(tǒng))、為其配套的冷、熱源及相應(yīng)的輸送系統(tǒng)需每天24

h運(yùn)行，這也與其他空調(diào)系統(tǒng)極其不同。運(yùn)行時(shí)間的增長(zhǎng)也使其空調(diào)系統(tǒng)的節(jié)能更具有潛力和意義。

空氣由空調(diào)箱經(jīng)風(fēng)管與潔凈室內(nèi)之空氣過(guò)濾器（HEPA） 進(jìn)入潔凈室，并由潔凈室兩側(cè)隔間墻板或高架地板回風(fēng)。氣流非直線型運(yùn)動(dòng)而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于潔凈室等級(jí)1,000-100,000級(jí)。

   優(yōu)點(diǎn)：構(gòu)造簡(jiǎn)單、系統(tǒng)建造成本低，潔凈室的擴(kuò)充比較容易，在某些特殊用途場(chǎng)所，可并用無(wú)塵工作臺(tái)，提高潔凈室等級(jí)。

   缺點(diǎn)：亂流造成的微塵粒子于室內(nèi)空間飄浮不易排出，易污染制程產(chǎn)品。另外若系統(tǒng)停止運(yùn)轉(zhuǎn)再活，欲達(dá)需求之潔凈度，往往須耗時(shí)相當(dāng)長(zhǎng)一段時(shí)間。

凈化空調(diào)系統(tǒng)組合式空調(diào)器安裝：

（1）安裝前應(yīng)檢查產(chǎn)品合格證，理解安裝說(shuō)明書，熟悉各功能段的安裝設(shè)置

（2）檢查安裝基礎(chǔ)的強(qiáng)度，坐標(biāo)位置，大小，標(biāo)高及水平度，以減少因傾斜引起的運(yùn)轉(zhuǎn)噪聲和振動(dòng)。

（3）對(duì)設(shè)備內(nèi)部進(jìn)行清洗，擦拭清除塵雜物和油污。檢查送回風(fēng)機(jī)是否有雜物，手動(dòng)旋轉(zhuǎn)葉輪時(shí)是否有異響。

（4）檢查設(shè)備各檢修門是否平整，啟閉是否正常，密封是否脫落，關(guān)門檢查箱體是否有漏光，空調(diào)允許漏風(fēng)率不大于2％。

（5）檢查設(shè)備內(nèi)表冷器是否有明顯損壞，隨機(jī)配套風(fēng)量調(diào)節(jié)是否啟閉正常，對(duì)表冷器碰歪的翅片應(yīng)以校正。

（6）空調(diào)器送回風(fēng)風(fēng)口與風(fēng)管連接處應(yīng)采取柔性連接。

（7）設(shè)備運(yùn)轉(zhuǎn)前應(yīng)檢查機(jī)內(nèi)初中效過(guò)濾器是否有明顯洞孔，松脫。

在平時(shí)，工作人員除了需要定期進(jìn)行盆浴或淋浴外，還應(yīng)當(dāng)定期洗頭。保持身體的清潔，盡量減少死皮數(shù)量。同時(shí)，在每次進(jìn)入無(wú)塵車間之前，都應(yīng)該對(duì)手進(jìn)行徹底的清潔。平時(shí)看起來(lái)挺干凈的手，其實(shí)也是一大污染源，能夠?qū)⑽廴疚飶囊惶巶鞯搅硪惶?。在清洗的時(shí)候，尤其應(yīng)該注意指甲、指甲根部和手上的傷處。凈化車間工程的氣流組織與一般空調(diào)房間有所不同，它要求將最干凈的空氣首先送到操作部位，它的作用在于限制和減少對(duì)加工物的污染。

在高度潔凈區(qū)域工作的人員，應(yīng)該保證健康狀況良好。避免將病毒帶入無(wú)塵車間內(nèi)，對(duì)無(wú)塵車間的環(huán)境造成破壞。