真空鍍膜機(jī)真空器件的常用檢漏方法

真空鍍膜機(jī)真空器件的常用檢漏方法 依據(jù)電真空器材的結(jié)構(gòu)特色及丈量精度要求，常用的有兩種檢漏辦法，即氦罩法和噴吹法（這兩種檢漏辦法具體介紹可見(jiàn)：氦罩法和噴吹法的氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏常見(jiàn)辦法）。檢漏時(shí)，先用氦罩法進(jìn)行總漏率的測(cè)定，當(dāng)總漏率超出答應(yīng)值后再用噴吹法進(jìn)行漏孔的認(rèn)位。 氦罩法是被檢件與檢漏儀銜接抽真空到達(dá)檢漏狀況后，用一個(gè)充溢氦氣的查驗(yàn)罩，把被檢件全體或部分的表面面包圍起來(lái)，如圖4所示。查驗(yàn)罩充氦時(shí)先將罩內(nèi)空氣排出再充氦，以確保罩內(nèi)氦濃度盡可能挨近100百分之，被檢件上任何地方有走漏。 檢漏儀都會(huì)有漏率值改變，顯示出漏率值。氦罩時(shí)刻也要繼續(xù)3~5倍檢漏儀呼應(yīng)時(shí)刻。ASM192T2氦質(zhì)譜檢漏儀反應(yīng)時(shí)刻小于0.5s,因而氦罩時(shí)刻30s即可。氦罩法可方便地測(cè)定被檢件總漏率，不會(huì)漏掉任何一處漏點(diǎn)，但不能確認(rèn)漏孔方位。 噴吹法是將被檢件與儀器的真空體系相連，對(duì)被檢件抽真空后用噴槍向漏孔處吹噴氦氣。當(dāng)有漏孔存在時(shí)，氦氣就經(jīng)過(guò)漏孔進(jìn)入質(zhì)譜儀被檢測(cè)出，噴吹法彌補(bǔ)了氦罩法不能定位的缺點(diǎn)。

真空鍍膜設(shè)備的工作離不開(kāi)相應(yīng)的監(jiān)測(cè)

真空鍍膜設(shè)備的工作離不開(kāi)相應(yīng)的監(jiān)測(cè)，那么如何監(jiān)測(cè)呢？下面一起來(lái)看看吧。 1.目視監(jiān)控使用雙眼監(jiān)控，因?yàn)楸∧ぴ诔砷L(zhǎng)的過(guò)程中，因?yàn)楦缮娆F(xiàn)象會(huì)有色彩改變，我們即是依據(jù)色彩改變來(lái)操控膜厚度的，此種辦法有必定的差錯(cuò)，所以不是很，需求依托經(jīng)歷。 2.定值監(jiān)控法此辦法使用停鍍點(diǎn)不在監(jiān)控波長(zhǎng)四分之一波位，然后由計(jì)算機(jī)計(jì)算在波長(zhǎng)一時(shí)總膜厚之反射率是多少，此即為中止鍍膜點(diǎn)。 3.水晶振動(dòng)監(jiān)控使用石英晶體振動(dòng)頻率與其質(zhì)量成反比的原理工作的?？墒鞘⒈O(jiān)控有一個(gè)欠好的地方即是當(dāng)膜厚添加到必定厚度后，振動(dòng)頻率不全然因?yàn)槭⒆陨淼奶匦允购穸扰c頻率之間有線性關(guān)系，此刻有必要使用新的石英振動(dòng)片。 4.極值監(jiān)控法當(dāng)膜厚度添加的時(shí)候其反射率和穿透率會(huì)跟著起改變，當(dāng)反射率或穿透率走到極值點(diǎn)的時(shí)候，就能夠知道鍍膜之光學(xué)厚度ND是監(jiān)控波長(zhǎng)（入）的四分之一的整倍數(shù)?？墒菢O值的辦法差錯(cuò)對(duì)比大，因?yàn)楫?dāng)反射率或許透過(guò)率在極值鄰近改變很慢，亦即是膜厚ND添加許多，R/T才有改變。反映對(duì)比的方位在八分之一波利益。

離子鍍膜設(shè)備的工作原理及操作方法

離子鍍膜設(shè)備的工作原理及操作方法 目前商業(yè)上已有很精制的設(shè)備安裝在顯微鏡下的載物臺(tái)的位置上。濺射鍍膜時(shí)，將拋光的試樣安放在式樣頭具上，傾轉(zhuǎn)到面對(duì)電子槍?zhuān)帢O）的位置，調(diào)節(jié)濺射室中的氣壓，輝光放電，陰極濺射，反應(yīng)濺射沉積。一定時(shí)間后，中斷濺射，把濺射沉積的試樣表面，轉(zhuǎn)回到面對(duì)物鏡的位置，觀察試樣表面的顏色，來(lái)評(píng)定沉積膜的厚度，當(dāng)要求的顏色得到時(shí)，鍍膜操作停止。