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無塵車間的污染源應(yīng)該怎么樣控制
無塵車間潔凈度之維持和控制,除了硬設(shè)備之配合投資外,也需要良好的 軟件——管理制度來搭配,方能維持良好的潔凈度。
無塵車間內(nèi)之污染來源,經(jīng)測試分析結(jié)果,作業(yè)人員占約 80%,作業(yè)人員進(jìn)出無塵車間時(shí)無塵車間的污染源可分為外污染及內(nèi)污染源。
外污染源主要包括空調(diào)送風(fēng)、間隙滲入、建筑物、工作服、以及一般性氣體如 N2、O2、Air、給水、溶劑等;而內(nèi)污染源則包括生產(chǎn)設(shè)備、工作人員、工具、加工制造、隔間材料、工作臺(tái)、 包裝材料等。所無塵布廠家以無塵車間工作不但要使用無塵材料,如無塵布,無塵服等,還要加強(qiáng)對進(jìn)出人員的管理,方能發(fā)揮無塵車間應(yīng)有的作用。
湖州無塵車間的平面布局
無塵車間一般包括無塵區(qū)、準(zhǔn)無塵區(qū)和輔佐區(qū)三部分。無塵車間的平面安置能夠有以下幾種方法:
外廊盤繞式:外廊能夠有窗和無窗,兼作觀賞和放置一些設(shè)備用,有的在外廊內(nèi)設(shè)直勤采暖。外窗有必要是雙層密封窗。
內(nèi)廊式:無塵車間設(shè)在外圍,而走廊設(shè)在內(nèi)部,這種走廊的無塵度等級一般都較高,乃至和無塵車間同級。
兩頭式:無塵區(qū)設(shè)在一邊,另一邊設(shè)準(zhǔn)無塵和輔佐用房。
中心式:為了節(jié)省用地、縮短管線,能夠無塵區(qū)為中心,上下左右被各種輔佐用房和蔭蔽管道的空間包圍起來,這種方法避開室外氣候?qū)o塵區(qū)的影響,削減了冷熱能耗,利于節(jié)能。
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每立方米將小于0.3微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個(gè)以下,就達(dá)到了國際無塵標(biāo)準(zhǔn)的1級。目前應(yīng)用在芯片級生產(chǎn)加工的無塵標(biāo)準(zhǔn)對于灰塵的要求高于1級,這樣的高標(biāo)主要被應(yīng)用在一些等級較高芯片生產(chǎn)上。5μm及以下的微塵數(shù)量被嚴(yán)格控制在每立方米1000個(gè)以內(nèi),這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級別。
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、氣流速度及其均勻度檢測,這項(xiàng)檢測是凈化車間效果的其他各項(xiàng)檢測的前提,這項(xiàng)檢測的目的是為了明確單向流凈化車間工作區(qū)的平均氣流通度及其均勻性。
2、系統(tǒng)或房間的風(fēng)量檢測。
3、室內(nèi)潔凈度的檢測。潔凈度的檢測是為了確定潔凈環(huán)境可達(dá)到的空氣潔凈度級別,可采用粒子計(jì)數(shù)器檢測。
4、自凈時(shí)間的檢測。通過確定自凈時(shí)間,查明潔凈室內(nèi)部發(fā)生污染時(shí)恢復(fù)其原有潔凈度的能力。
5、氣流流型檢測。
6、噪聲的檢測。
7、照度的檢測。照度檢測的目的是為了判明潔凈室的照度水平和照度的均勻性。
8、振動(dòng)的檢測。振動(dòng)檢測的目的是為了判明凈化車間各表明的振動(dòng)幅度。
9、溫、濕度的檢測。溫、濕度檢測的目的是把溫度、濕度調(diào)整到一定限度內(nèi)的能力。其內(nèi)容包括檢測凈化車間的送風(fēng)溫度,檢測有代表性測點(diǎn)的空氣溫度,檢測凈化車間中心點(diǎn)的空氣溫度,檢測敏感元件處的空氣度,檢測室內(nèi)空氣相對溫度,檢測回風(fēng)溫度。
10、總風(fēng)量和新風(fēng)量的檢測。