對(duì)于一些的細(xì)小電子元件，氦氣怎么檢漏呢?將要檢測(cè)的元件放入充滿(mǎn)氦氣的容器中并且加壓。在壓力的作用下，如果這些元件存在漏點(diǎn)，必然會(huì)有氦氣通過(guò)這些小孔進(jìn)入到元件內(nèi)部。使用壓縮空氣將元件表面的少量殘留氦氣吹掃干凈之后，再利用質(zhì)譜儀檢測(cè)元件表面泄露的氦氣?？吹竭@里大家得注意，氦氣的價(jià)格不菲，進(jìn)行一次氦氣檢漏的費(fèi)用自然不低。

氦氣怎么檢漏，氦氣檢漏就是利用了氦氣分子小能夠輕易進(jìn)入那些不被肉眼察覺(jué)的孔縫中，利用監(jiān)測(cè)儀器就能探測(cè)到孔縫中泄露出的氦氣。檢測(cè)時(shí)探測(cè)到氦氣的，得到氦氣的水含量，再利用色譜儀計(jì)算出氫氣、氧氣、C02氣體等雜質(zhì)。氦檢漏有兩種工藝，一種是背壓法，另一種則是真空箱法。

液氧汽化充裝后,縮短了充填時(shí)間,氣體的流速提高了3~6倍

液氧汽化充裝后，縮短了充填時(shí)間，氣體的流速提高了3~6倍。汽化采用前是每組充填排5個(gè)充填卡具接頭；汽化采用后，改為每組10個(gè)充填卡具接頭，就是在這種情況下，發(fā)生兩起事故。說(shuō)明氣體的流速仍然很高。為了保證充填可靠，還要保證產(chǎn)品的數(shù)量和質(zhì)量，液氧泵電機(jī)轉(zhuǎn)速還不能低于800r／min，可行的技術(shù)措施就是增加充填卡具接頭，等壓分流，使氣流的流速降下來(lái)。

昂貴的液氦價(jià)格,使研究工作難以廣泛開(kāi)展

2007年，美國(guó)將氦氣核定為戰(zhàn)略物資而限制粗氦產(chǎn)量，導(dǎo)致全球液氦價(jià)格由原來(lái)60～80元/每升，上漲到目前200元/每升以上。昂貴的液氦價(jià)格，使研究工作難以廣泛開(kāi)展。研究人員預(yù)計(jì)，未來(lái)氦氣進(jìn)口將更加受制于人，屆時(shí)可能會(huì)因?yàn)闊o(wú)液氦供應(yīng)而使中國(guó)現(xiàn)有的許多涉及氦氣和液氦的科研項(xiàng)目無(wú)法實(shí)施。三種途徑解除氦危機(jī)直接的辦法就是節(jié)流?，F(xiàn)在醫(yī)院的儀很多自身帶有密閉性很好、防止蒸發(fā)的液氦裝置，大大減少了液氦的需求量，先前的一些耗費(fèi)液氦量大的儀器已經(jīng)逐漸被淘汰。

工業(yè)氣體在電子行業(yè)的應(yīng)用

亞太區(qū)是半導(dǎo)體行業(yè)主要的增長(zhǎng)來(lái)源，而中國(guó)又是亞太區(qū)大的單一市場(chǎng)。2015年，全球半導(dǎo)體69%的市場(chǎng)來(lái)自于亞太區(qū)，而中國(guó)市場(chǎng)占了亞太區(qū)市場(chǎng)的41%，而這一數(shù)字未來(lái)還會(huì)更高。對(duì)于工業(yè)氣體在電子行業(yè)的應(yīng)用來(lái)說(shuō)，不僅受益于中國(guó)電子行業(yè)的增長(zhǎng)，更受益于越來(lái)越多的國(guó)內(nèi)外電子行業(yè)廠商在國(guó)內(nèi)投資建廠。這使得工業(yè)氣體在電子行業(yè)將會(huì)有更快的增速。同時(shí)，中國(guó)也積極推動(dòng)工業(yè)氣體在電子行業(yè)的應(yīng)用。目前高純特種電子氣體的研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化已作為我國(guó)極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝的核心部分被列入我國(guó)國(guó)家科技重大專(zhuān)項(xiàng)，與大型飛機(jī)、載人航天與探月工程等16個(gè)重大專(zhuān)項(xiàng)一起被列入《國(guó)家中長(zhǎng)期科學(xué)和技術(shù)發(fā)展規(guī)劃綱要（2006-2020）》。盡管電子工業(yè)氣體市場(chǎng)較整體工業(yè)氣體市場(chǎng)較小，但增速很快。我們預(yù)計(jì)工業(yè)氣體未來(lái)在電子行業(yè)的市場(chǎng)規(guī)模將會(huì)有近15%的增速，在2018年達(dá)到近130億。