液態(tài)氦氣沸點極低,當(dāng)溫度降至2

液態(tài)氦氣沸點極低，當(dāng)溫度降至2.178K時，就轉(zhuǎn)變?yōu)橐环N粘度接近于零的具有流動性的液氦，此時的液態(tài)氦氣被稱為超流體。液態(tài)氦氣已實際應(yīng)用在許多晶圓處理程序步驟中，它可在高壓氣相化學(xué)沉積(HP-CVD)以及蝕刻程序上作為晶背冷卻之用，并且它也可用作為攜載氣體應(yīng)用在CVD以沉積抗反射層、氧氮化合物及其它薄膜用。

二氧化碳?xì)怏w保護(hù)焊接用的

氣的缺點是電離勢較高。當(dāng)電弧空間充滿氣時，電弧的引燃較為困難，但電弧一旦引燃后就非常穩(wěn)定。三、二氧化碳?xì)怏w保護(hù)焊接用的二氧化碳?xì)怏w二氧化碳常溫下是一種無色無味、不可燃的氣體，密度比空氣大，略溶于水，與水反應(yīng)生成碳酸。二氧化碳?xì)怏w保護(hù)電弧焊（簡稱CO2焊）是以二氧化碳?xì)鉃楸Ｗo(hù)氣體，進(jìn)行焊接的方法。（有時采用CO2 Ar的混合氣體）。

分離法的4種方法

主要有4種1.分離法：工業(yè)上，主要以含有氦的為原料，反復(fù)進(jìn)行液化分餾，然后利用活性炭進(jìn)行吸附提純，得到純氦。2.合成氨法：在合成氨中，從尾氣經(jīng)分離提純可得氦。3.空氣法：從液態(tài)空氣中用分餾法從氦混合氣中提出。4.鈾礦石法：將含氦的鈾礦石經(jīng)過焙燒，分離出氣體，再經(jīng)過化學(xué)方法，除去水蒸氣、氫氣和二氧化碳等雜質(zhì)提純出氦。