300C有機無機聯(lián)合蒸發(fā)

主要用途： 　　

用于制備導電薄膜，半導體薄膜，鐵電薄膜，光學薄膜等。 　　

系統(tǒng)組成: 　　

該蒸鍍設計系統(tǒng)主要由真空抽氣及真空測量系統(tǒng)、真空室系統(tǒng)、工件架系統(tǒng)、蒸發(fā)源系統(tǒng)、膜厚測試系統(tǒng)、蒸發(fā)舟擋板系統(tǒng)、烘烤照明系統(tǒng)、水冷卻循環(huán)及報警系統(tǒng)、電控及控制系統(tǒng)、輔助系統(tǒng)等設計。 　　

技術指標： 　　

極限真空度：≤6.7×10 Pa 　　

恢復真空時間：從1×10 Pa抽至5×10 Pa≤20min 　　

系統(tǒng)漏率：6. 7×10-7Pa.L/S； 　　

真空室：Ф400 x400mm圓筒型真空室 ， 　　

蒸發(fā)源：1-4個，采用電阻蒸發(fā)舟、蒸發(fā)藍、絞絲、束源爐至下向上蒸發(fā)鍍膜。 　

蒸發(fā)溫度：加熱溫度：室溫～1800℃； 　　

蒸發(fā)舟在距中心100～160mm的圓周上；蒸發(fā)舟可上下升降，調節(jié)幅度0～150mm（樣品中心與坩堝距離150~300mm）； 　

工作架類型及尺寸：樣品托盤直徑Φ300mm，其上可放多個直徑20mm的小樣品；樣品托盤具有自轉功能，轉速在0～20 轉/分鐘，轉速可調；樣品托盤可擺角，角度在0～30度可調； 　　

烘烤溫度：400℃數(shù)顯自動熱偶控溫（高溫爐盤，數(shù)顯自動熱偶控溫可加熱到700℃） 　　

電阻蒸發(fā)源：電壓5V，10V，功率2.5KW，水冷電極1~4對 　　

石英晶振膜厚控制儀：膜厚測量范圍0-999999?

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