無塵車間--對(duì)鋪設(shè)場地的要求：

　　1、地板的鋪設(shè)應(yīng)在室內(nèi)土建及裝修施工完畢后進(jìn)行；

　　2、地面應(yīng)平整、干燥、無雜物、無灰塵；

　　3、地板下可使用空間，布置敷設(shè)電纜、電路、水路、空氣等管道及空調(diào)系統(tǒng)應(yīng)在安裝地板前施工完畢；

　　4、大型重設(shè)備基座固定應(yīng)完工，設(shè)備安裝在基座上，基座高度應(yīng)同地板上表面完成高度一致；

　　5、施工現(xiàn)場備有220V/50HZ電源及水源。

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無塵車間該如何防止微粒子污染呢？

在無法避免大量微粒子發(fā)生的機(jī)臺(tái)中，為了不讓無塵室內(nèi)產(chǎn)生微粒子，因此直接做對(duì)外排氣的動(dòng)作，即所謂的局部排氣。對(duì)于施工或維修之廠商，應(yīng)告知進(jìn)出無塵室之各項(xiàng)規(guī)定，且負(fù)責(zé)工程師應(yīng)隨侍在側(cè)監(jiān)工。針對(duì)排氣的對(duì)策如下：由于導(dǎo)入同量的外氣是必要的，但會(huì)伴隨大量的能源消耗。所以無法說是理想的對(duì)策。因此盡可能地在壓縮排氣量的同時(shí)，不僅僅是向無塵室外排氣，而應(yīng)采用將除去粒子后的空氣再回流到無塵室內(nèi)之對(duì)策。