金剛線切割技術(shù)

金剛線切割技術(shù)也被稱為固結(jié)磨料切割技術(shù)。它是利用電鍍或樹脂粘結(jié)的方法將金剛石磨料附著在鋼線表面，將金剛線直接作用于硅棒或硅錠表面產(chǎn)生磨削，達到切割的效果。

金剛線切割具有切割速度快，切割精度高，材料損耗低等特點。切割線的技術(shù)突破是硅片加工成本下降的重要途徑。金剛石線切割速度是普通鋼線的2 倍，因此單位產(chǎn)量的折舊、人工和能源成本將降低一半。

柔性切割

切割速度的選擇：

金剛石線鋸的切割屬于柔性切割，利用金剛石顆粒的硬度比被切割的材料堅硬，切割過程中不銹鋼線上鍍有的金剛石顆粒層與被切材料進行往復磨削，達到切割的目的。該類切割線使用時一般纏繞到幾個導輪上進行單向循環(huán)切割，切割過程中無需換向，因此切割速度高。根據(jù)材料特性，一般硬度適中（莫氏硬度＜9）的脆性材料切割速度可適當快一些，如硅、石墨、壓電陶瓷、玻璃等。這是因為這些材料遠沒有金剛石堅硬，當金剛石線與其進行磨削時會很容易將材料磨削成顆粒進而切割。當切割金屬或混合型材料或者難于切割的陶瓷材料，切割速度要盡可能慢。

?線切割設(shè)備

線切割設(shè)備的速度調(diào)整：

切割速度的大小不僅與材料的性質(zhì)有關(guān)，與切割面的大小也有關(guān)系，同種材料切割時，被切面較大的切割速度設(shè)置就要相對較小一些。在國際上，游離磨料線鋸切割在單晶硅、多晶硅的切割中占主流地位，但是這種技術(shù)存在明顯的不足。無論切割何種材料切割速度太快都不利于切割出光滑平整的試樣面，速度太快切割后的樣品表面會有明顯的切割線痕跡，因此當要求切斷試樣同時還要有很好的面型（平面度、平行度、表面粗糙度）時一般選用較慢的切割速度。