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實驗室凈化工程,無菌實驗室工程,實驗室通風系統(tǒng)工程是企業(yè)針對一些要求相對較高,實驗樣品對環(huán)境相對敏感?;蛘呤强諝赓|(zhì)量過差會污染實驗樣品,如生物制品、微生物研究、腦細胞實驗室、實驗室、血細胞實驗室、動物實驗室、生物安全實驗室、病毒研究實驗室等場合,就會必須要求對實驗室或者實驗室某些區(qū)域進行空氣凈化工程系統(tǒng)處理。以使實驗室的基礎(chǔ)設(shè)施達到符合實驗要求的標準,實驗才得以安全進行。25〉10000《35*10000(〈350〉《2500(〈2。實驗室凈化工程是除了對實驗樣品的安全起到保護的作用之外,也是為實驗成功與實驗人員的安全保駕護航的重大措施之一。實驗室凈化工程是將實驗室某一區(qū)域開辟出來,專門用于建造有空氣潔凈等級的、實驗環(huán)境要求相對較高的實驗室或者無菌室。實驗室凈化工程系統(tǒng)與傳統(tǒng)的潔凈室系統(tǒng)其實是大同小異的,只不過實驗室對潔凈室內(nèi)的壓力、微生物控制及溫濕度控制相對較工業(yè)潔凈室要嚴格。
潔凈室中的溫濕度控制潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來確定,但在滿足工藝要求的條件下,應(yīng)考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高,出現(xiàn)了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴的趨勢。具體工藝對溫度的要求以后還要列舉,但作為總的原則看,由于加工精度越來越精細,所以對溫度波動范圍的要求越來越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。凈化實驗室-如何選購凈化設(shè)備:房間格局影響凈化效果:空氣凈化器的進出風口有360度環(huán)型設(shè)計的,也有單向進出風的,若在產(chǎn)品擺放上不受房間格局限制,則應(yīng)選擇環(huán)型進出風設(shè)計的產(chǎn)品。直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就引起了0.24um線性膨脹,所以必須有±0.1度的恒溫,同時要求濕度值一般較低,因為人出汗以后,對產(chǎn)品將有污染,特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間,這種車間不宜超過25度。濕度過高產(chǎn)生的問題更多。相對濕度超過55%時,冷卻水管壁上會結(jié)露,如果發(fā)生在精密裝置或電路中,就會引起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。此外,濕度太高時將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學吸附在表面耐難以清除。相對濕度越高,粘附的難去掉,但當相對濕度低于30%時,又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面,同時大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿。對于硅片生產(chǎn)溫度范圍為35—45%。
氣壓規(guī)定對于大部分潔凈空間,為了防止外界污染侵入,需要保持內(nèi)部的壓力(靜壓)高于外部的壓力(靜壓)。壓力差的維持一般應(yīng)符合以下原則:1.潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力。所以,前聯(lián)邦德國有人稱單向流潔凈室的氣流為“活塞流”、“平推流”前蘇聯(lián)稱之為“被擠壓的弱空氣射流”。2.潔凈度級別高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度級別低的空間的壓力。壓力差的維持依靠新風量,這個新風量要能補償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風量。所以壓力差的物理意義就是漏泄(或滲透)風量通過潔凈室的各種縫隙時的阻力。
并裝局部潔凈室(Clean Spot):將潔凈室等級10,000~100,000之亂流潔凈室內(nèi)之產(chǎn)品制程區(qū)的潔凈度等級提高為10~1000級以上,以為生產(chǎn)之用;潔凈工作臺、潔凈工作棚、潔凈風柜即屬此類。潔凈工作棚:為在亂流式之潔凈室空間內(nèi)以防靜電之透明塑料布圍成一小空間,采用獨立之HEPA或ULPA及空調(diào)送風機組而成為一較之潔凈空間,其等級為10~1000級,高度在2.5米左右,覆蓋面積約10m2以下,四支支柱并加裝活動輪,可為彈性運用。因此這種情況下不僅有流層之間因紊流流動而發(fā)生的摻混,而且還有全室范圍內(nèi)的大的回流、旋渦所發(fā)生的摻混。