如何選擇真空檢漏儀

一．對檢漏方法的一般要求

1.檢漏靈敏度高，可以檢出很小的漏孔；

2.反應時間短，可以提高工作效率；

3.能定位、定量，即不經能夠找出漏孔的位置，還能知道漏率的大小，以便確定是否合乎質量要求；

4.能無損檢漏，不使被檢設備受到損傷和污染；

5.穩(wěn)定性好，即可以在足夠長時間內靈敏度穩(wěn)定可靠；

6.所用“示蹤氣體”在空氣中含量低，無毒，不腐蝕零件；

7.檢漏范圍大，從大漏孔到小漏孔都能檢測到，以減少檢漏設備的數(shù)量和費用；

8.檢漏時潔凈無油，滿足一些特殊的要求

二．選擇真空檢漏儀檢漏方法的原則

1.主要根據(jù)被檢漏設備的允許漏率為依據(jù)，由于一個設備的允許漏率是很多漏孔漏率的綜合，為找到一個單個漏孔，所選擇的檢漏方法的檢漏靈敏度就要高于允許漏率1-2個數(shù)量級。如一個設備的允許漏率為10-11w,而必須選用的檢漏儀靈敏度為10-12∽10-13W；

2.根據(jù)具體被檢對象，所用方法簡便易行，經濟實用。

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氦質譜檢漏儀

待機時電離室真空度保持在≤3x10-2Pa，燈絲不易被氧化脆斷。在檢漏過程中，當出現(xiàn)意外情況，系統(tǒng)突然暴露大氣或真空度突然降低，導致大量的氣體突然進入電離室，真空度≥1x10-1Pa時，燈絲電流急劇增大，燈絲被碳化，就發(fā)生了脆斷現(xiàn)象。

氦質譜檢漏儀燈絲壽命如何延長？有前面分析已知，造成氦質譜檢漏儀燈絲脆斷的原因：1.真空度低；2.燈絲電流過大；3.對燈絲有害的氣體氣壓太高（氧化性氣體、水蒸氣、氫氣）。那么，在使用中盡量避免燈絲在上述惡劣環(huán)境下長時間開啟，或者說盡量提高燈絲的上述使用條件就可以有效延長氦質譜檢漏儀的燈絲壽命。如：1.使用中盡量將預置真空開關空擋；2.避免電離室泄入有害氣體（氧化性氣體、水蒸氣、氫氣）。

氦質譜檢漏儀的不同測量方法滿足多種需求

氦質譜檢漏儀中氦質譜檢漏系統(tǒng)的關鍵部件均為進口，性能穩(wěn)定可靠。秀長的體積，優(yōu)越的性能，適用于眾多行業(yè)。運用了氦質譜和逆擴散原理,采用了原裝進口分子泵、180°非均勻磁場和全自動控制技術，實現(xiàn)了自動氦峰掃描、自動調零、自動校準和自動量程切換,具有檢測速度快、檢測靈敏度高、抗干擾能力強等特點。氦質譜檢漏儀可以對具有內腔的微電子或半導體器件封裝的氣密性進行細檢漏。 此檢測方法使用的示蹤氣體選擇了氦氣，氦氣具有質量數(shù)小、重量輕并且有滲透能力強的優(yōu)點，達到了細檢漏的目的。

氦質譜檢漏儀特點：

1.檢測時間和響應周期非常短，可以達到2s以內；

2.檢測的介質比較常用，僅需壓縮空氣即可；

3.多種大漏保護模式，充分保護離子源不被氧化和暴漏大氣時分子泵不被沖擊；

4.大漏檢測功能：可通過預設壓力，抽空時，達不到預設值，檢漏儀自動報警提示。

5.多種計量單位選擇，檢測數(shù)據(jù)實時更新，直接輸出生成Excel表格。

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真空法氦質譜檢漏原理

真空法氦質譜檢漏原理：

采用真空法檢漏時，需要利用輔助真空泵或檢漏儀對被檢產品內部密封室抽真空，采用氦罩或噴吹的方法在被檢產品外表面施氦氣，當被檢產品表面有漏孔時，氦氣就會通過漏孔進入被檢產品內部，再進入氦質譜檢漏儀，從而實現(xiàn)被檢產品泄漏量測量。按照施漏氣體方法的不同，又可以將真空法分為真空噴吹法和真空氦罩法。其中真空噴吹法采用噴槍的方式向被檢產品外表面噴吹氦氣，可以實現(xiàn)漏孔的定位； 真空氦罩法采用有一定密閉功能的氦罩將被檢產品全部罩起來，在罩內充滿一定濃度的氦氣，可以實現(xiàn)被檢產品總漏率的測量。

真空法檢漏有何優(yōu)點：真空法的優(yōu)點是檢測靈敏度高，可以定位漏孔，能實現(xiàn)大容器或復雜結構產品的檢漏。

真空法檢漏缺點：真空法的缺點是只能實現(xiàn)一個大氣壓差的漏率檢測，不能真實反映帶壓被檢產品的真實泄漏狀態(tài)。

用途：真空法的檢測主要應用于真空密封性能要求，但不帶壓工作的產品，如空間活動部件、液氫槽車、環(huán)境模擬設備等。

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