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什么是流量控制器
質(zhì)量流量控制器,即MassFlowController(MFC),不但具有質(zhì)量流量計的功能,更重要的是,它能自動控制氣體流量,即用戶可根據(jù)需要進(jìn)行流量設(shè)定,MFC自動地將流量恒定在設(shè)定值上,即使系統(tǒng)壓力有波動或環(huán)境溫度有變化,也不會使其偏離設(shè)定值。質(zhì)量流量控制器(Mass Flow Controller縮寫為MFC)用于對于氣體或者液體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測量和控制。,我們認(rèn)為如果用戶要將流量控制在期望的設(shè)定值,那么其穩(wěn)定容許范圍也必須落在設(shè)備精度范圍內(nèi)。擴(kuò)散,氧化,分子束外延,CVD,等離子刻蝕,濺射,離子注入,以及真空鍍膜設(shè)備,光纖熔煉,微反應(yīng)裝置,混氣配氣系統(tǒng),毛細(xì)管測量氣象色譜儀,光導(dǎo)纖維制造設(shè)備中。并廣泛用于石油化工。冶金,制藥等。特點(diǎn):精度高,重復(fù)性好。
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流量控制器
一定要按實際使用氣體標(biāo)定顯示嗎?
不一定。按實際實際使用氣體標(biāo)定顯示,顯示的是實際氣體的流量, 比較直觀??梢缘臏y量微小流量,采用分流裝置,又可以測量大流量,而且溫度,壓力范圍很大。但在很多的實際應(yīng)用場合,只需要找到一個合適的流量參數(shù)并保證測量和控制的重復(fù)性,至于該氣體的實際質(zhì)量流量是多少,用戶并不是特別關(guān)心。在這種情況下,您直接使用廠家的標(biāo)準(zhǔn)出廠產(chǎn)品(氮?dú)鈽?biāo)定顯示)也可以。當(dāng)然,如前面所提到的,您在選定流量規(guī)格時,需要換算一下,以選擇合適的量程。對于某些用戶,同一個產(chǎn)品有時可能會通不同的氣體,這種情況下,直接使用氮?dú)鈽?biāo)定出廠的產(chǎn)品更方便。
數(shù)字化質(zhì)量流量控制器的發(fā)展情況如何? 有些什么特點(diǎn)?
數(shù)字化質(zhì)量流量控制器起源于上世紀(jì)八十年代末期, 現(xiàn)在在國外, 有逐步普及的趨勢。在國內(nèi), 2004年中法合資的七星弗洛爾公司已有AFC系列數(shù)字化MFC/MFM批量投產(chǎn)。
數(shù)字化質(zhì)量流量控制器有兩種類型, 一種是數(shù)字模擬兼容產(chǎn)品, 一種是全數(shù)字化產(chǎn)品。與質(zhì)量流量控制器配套的流量顯示儀上設(shè)置有穩(wěn)壓電源,數(shù)字電壓表,設(shè)定電位器,外設(shè)、內(nèi)設(shè)轉(zhuǎn)換和三位閥控開關(guān)等。數(shù)字模擬兼容類產(chǎn)品采用與模擬流量計一樣的±15V電源, 輸入輸出信號除了有模擬的 5VDC信號外, 還具有RS232/RS485串行通訊口。數(shù)字模擬兼容的MFC當(dāng)設(shè)置為模擬式時, 可以直接替換模擬式MFC, 無需做其它更改。全數(shù)字化類型產(chǎn)品通常采用24VDC單電源, 沒有模擬輸入輸出信號, 只有現(xiàn)場總線通訊信號。