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市場規(guī)模
中國半導體產業(yè)穩(wěn)定增長,全球半導體產業(yè)向中國轉移。據WSTS和SIA統(tǒng)計數據,2016年中國半導體市場規(guī)模為1659.0億美元,增速達9.2%,大于全球增長速度(1.1%)。首先光刻膠被從容器中取出滴布到置于涂膠機中的樣品表面,(由真空負壓將樣品固定在樣品臺上),樣品然后高速旋轉,轉速由膠粘度和希望膠厚度確定。2016年中國半導體制造用光刻膠市場規(guī)模為19.55億元,其配套材料市場規(guī)模為20.24億元。預計2017和2018年半導體制造用光刻膠市場規(guī)模將分別達到19.76億元和23.15億元,其配套材料市場規(guī)模將分別達到22.64億元和29.36億元。在28nm生產線產能尚未得到釋放之前,ArF光刻膠仍是市場主流半導體應用廣泛,需求增長持續(xù)性強。近些年來,全球半導體廠商在中國大陸投設多家工廠,如臺積電南京廠、聯(lián)電廈門廠、英特爾大連廠、三星電子西安廠、力晶合肥廠等。諸多半導體工廠的設立,也拉動了國內半導體光刻膠市場需求增長。
光刻膠的重要性
在北京化工大學理學院院長聶俊眼里,我國雖然已成為世界半導體生產大國,但面板產業(yè)整體產業(yè)鏈仍較為落后。光刻工藝重要性二光刻膠的曝光波長由寬譜紫外向g線→i線→KrF→ArF→EUV(13。目前,上游電子化學品(LCD用光刻膠)幾乎全部依賴進口,必須加快面板產業(yè)關鍵核心材料基礎研究與產業(yè)化進程,才能支撐我國微電子產業(yè)未來發(fā)展及國際“地位”的確立。
“假如我們把光刻機比作一把菜刀,那么光刻膠就好比是要切割的菜,沒有高質量的菜,即使有了鋒利的菜刀,也無法做出一道佳肴?!比涨?,江蘇博硯電子科技有限公司技術部章宇軒在接受科技日報記者采訪時說。
NR77-20000P
正膠PR1-2000A1技術資料
正膠PR1-2000A1是為曝光波長為365 或者436納米,可用于晶圓步進器、掃描投影對準器、近程打印機和接觸式打印機等工具。PR1-2000A1可以滿足對附著能力較高的要求,在使用PR1-2000A1時一般不需要增粘劑,如HMDS。
相對于其他的光刻膠,PR1-2000A1有如下的一些額外的優(yōu)勢:
PEB,不需要后烘的步驟;
較高的分別率;
快速顯影;
較強的線寬控制;
蝕刻后去膠效果好;
在室溫下有效期長達2年。