相對濕度在35%－40%之間能夠作為一個令人滿意的折中，半導體無塵車間、潔凈室一般都運用額外的操控裝置以約束靜電荷的堆集。許多化學反響的速度，包含腐蝕的進程，將跟著相對濕度的zeng高而加速。一切暴露在無塵車間、潔凈室周圍空氣中的外表都很快地被覆蓋上至少一層單分子層的水。當這些外表是由能夠與水反響的薄金屬涂層組成時，高濕度能夠使反響加速。幸運的是，一些金屬，例如鋁，能夠與水構成一層維護形的氧化物，并阻止進一步的氧化反響；但另一種情況是，例如氧化銅，是不具有維護才能的，因而，在高濕度的環(huán)境中，銅制外表更容易遭到腐蝕。

無塵車間對潔凈室的需要以及對無塵車間潔凈度的要求，取決于潔凈室內工藝的性質。在這方面，將產(chǎn)品、工藝及人員所需要的保護水平，連同其它所有組成部分對潔凈度的整個要求一并考慮，是非常關鍵的。以現(xiàn)實的觀點看，保證對一個特定環(huán)境有充分的污染控制，就必須控制室內換氣次數(shù)，控制室內溫、濕度，控制與相鄰房間的壓差，控制室內粒子濃度，控制房間使用的建筑材料與設備，控制微生物的數(shù)量，控制所用服裝的污染水平及通風過濾器的數(shù)量。需要通盤考慮的其他因素有：人員的衛(wèi)生、設備選項、ren流及物流的通道。

所謂的凈化就是將一定空間范圍內空氣中的細菌、有害氣體、微粒子等污染物清除，并將室內的溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音震動及照明、靜電控制在一個范圍內，但是凈化車間是一個復雜的工程，需要很多技術知識，在設計和施工中要注意很多細節(jié)，凈化車間是一個復雜的工程，從車間的選址、車間的布局以及設備的選擇都是大問題，一切都需要根據(jù)生產(chǎn)工藝考慮，達到符合生產(chǎn)的環(huán)境。根據(jù)生產(chǎn)工藝合理的對車間進行設計，對車間進行布局，根據(jù)生產(chǎn)工藝布置設備，避免工作人員和物料來回往返，防止出現(xiàn)交叉污染的情況。所以凈化車間從設計到施工，都要注意細節(jié)問題。

設計實驗室時應該注意哪些事項：1、實驗室配有空調系統(tǒng)，其風口應采用噴塑或其他處理過的金屬材料制成，化學實驗室一般不設回風口。2、實驗室的照明燈具不宜用金屬制品，若選用金屬燈具需經(jīng)表面處理，以防止腐蝕。3、各種管線應盡量避免外露，實驗室應簡潔。有條件應設置火災煙霧報警器等。4、安全設施包括消防滅火系統(tǒng)，惰性氣體滅火系統(tǒng)，安全柜，緊急事故淋洗器、洗眼器等。5、供氣設施包括供氣站、供氣板、用氣板及其管路系統(tǒng)等。