氣體管道安裝

在實(shí)驗(yàn)室設(shè)計(jì)領(lǐng)域中，實(shí)驗(yàn)室供氣系統(tǒng)的規(guī)劃設(shè)計(jì)是相當(dāng)重要的。因此在氣體管路安裝過(guò)程中我們要注意腐蝕1)濕氣腐蝕例如HCL、CL2在有水存在時(shí)很容易腐蝕鋼瓶，水分的引入可能來(lái)源于客戶使用，沒(méi)有關(guān)閉閥門(mén)，也可能在充裝過(guò)程中或水壓檢驗(yàn)中。不僅是給試驗(yàn)操作人員一個(gè)良好的工作環(huán)境，更加是對(duì)試驗(yàn)人員的人身安全的一個(gè)保障。所以在實(shí)驗(yàn)室設(shè)計(jì)之初我們就應(yīng)該把供氣系統(tǒng)的設(shè)計(jì)規(guī)范考慮進(jìn)去。相應(yīng)等級(jí)的實(shí)驗(yàn)室就應(yīng)該有相應(yīng)的設(shè)計(jì)規(guī)范，這樣才能完i美的設(shè)計(jì)出一個(gè)利于工作而保證安全的實(shí)驗(yàn)室。

一、氣瓶間及氣瓶的安全規(guī)范

（1）氣瓶應(yīng)專(zhuān)瓶專(zhuān)用，不能隨意改裝其它種類(lèi)的氣體。

（2）氣瓶室嚴(yán)禁靠近火源、熱源和有腐蝕性的環(huán)境。

（3）氣瓶室必須使用防爆開(kāi)關(guān)和燈具，周?chē)箘?dòng)用明火。

（4）氣瓶室應(yīng)有通風(fēng)設(shè)備，保持陰涼，氣瓶室頂部應(yīng)該留有泄流孔防止易i燃?xì)怏w的聚集。

（5）空瓶與實(shí)瓶分區(qū)放置，氣瓶室易i燃易i爆氣瓶應(yīng)該與助燃?xì)馄扛綦x。

（6）瓶閥、接管螺絲和減壓閥等附件完好齊全，無(wú)漏氣、滑絲、表針?biāo)蓜?dòng)等危險(xiǎn)情況，各類(lèi)氣壓表一般不得混用。

（7）氣瓶在儲(chǔ)存、使用時(shí)必須直立放置，工作地點(diǎn)不固定且移動(dòng)頻繁時(shí)，應(yīng)固定在專(zhuān)用手推車(chē)上，防止傾倒，嚴(yán)禁臥放使用。

（8）氣瓶嚴(yán)禁靠近火源、熱源和電氣設(shè)備，與明火距離不少于10m，氧氣瓶和乙i炔氣瓶同時(shí)使用時(shí)，不能放在一起。

（9）使用后的空瓶，應(yīng)移至空瓶存放區(qū)，并加上空瓶的標(biāo)示，嚴(yán)禁空瓶與實(shí)瓶混存。

（10）氣瓶中氣體不可用盡，必須保持一定余壓。

（11 ）氣瓶須定期檢驗(yàn)，不得超過(guò)使用氧氣瓶、乙i炔氣瓶，液化石油i氣瓶的檢驗(yàn)周期為3年、氮?dú)馄康臋z驗(yàn)周期為5年。

（12）氣瓶應(yīng)放在主體建筑物之外的氣瓶存放間。對(duì)日用氣量不超過(guò)一瓶的氣體，實(shí)驗(yàn)室內(nèi)可放置一個(gè)該種氣體的氣瓶，但氣瓶應(yīng)有安全防護(hù)設(shè)施。

（13）氫氣和氮?dú)獾臍馄看娣砰g應(yīng)有每小時(shí)不小于三次換氣的通風(fēng)措施。

高純氣體管道配管

所有高純度、高潔凈的氣體均需通過(guò)管路輸送到設(shè)備用點(diǎn)(POU)，為了達(dá)到工藝對(duì)氣體的質(zhì)量要求，在氣體出口指標(biāo)一定的情況下，則更需重視配管系統(tǒng)的材料選用和施工質(zhì)量。999%以上，其次氣體的供應(yīng)必須連續(xù)，輸出壓力平穩(wěn)，氣體的壓力波動(dòng)可能導(dǎo)致儀器設(shè)備無(wú)法正常工作，氣體的不連續(xù)供應(yīng)甚至可能導(dǎo)致儀器設(shè)備故障，因此實(shí)驗(yàn)室氣體管路的設(shè)計(jì)必須非常嚴(yán)格。除取決于制氣或凈化設(shè)備的精度外，在很大程度上受到管路系統(tǒng)諸多因素的影響，因此，管材的選取應(yīng)恪守相關(guān)行業(yè)原則，并在圖紙中注明管道材質(zhì)。

管路的材質(zhì)則依使用的需求進(jìn)行選擇，若為制程用的反應(yīng)氣體則選擇高等級(jí)的316L EP管，經(jīng)電解拋光(Electro-Polish)處理，耐腐蝕，表面粗糙度低，Rmax(maximum peak to valleyheight)約為0.3μm以下，其值遠(yuǎn)低于經(jīng)過(guò)光輝燒結(jié)(Bright Anneal)處理之316L BA管的0.8μm，因平整度越高越不容易形成微渦流，而將污染粒子帶出。5米左右，氣體管路就需要有支架，另外根據(jù)氣體管路彎曲的直徑，設(shè)置合適的支架位置。316L BA管則常使用于和芯片接觸但不參與制程反應(yīng)的氣體，如GN2、CDA。管內(nèi)表面粗糙度是衡量管材質(zhì)量的標(biāo)準(zhǔn)。粗糙度越低，其顆粒攜帶可能性大大降低。另一種未經(jīng)特殊處理的AP管(Annealing & Picking)，則用于不做為供氣管路的雙套外管。

氣體產(chǎn)品種類(lèi)繁多，大致可以分為一般工業(yè)氣體和特種氣體兩大類(lèi)。聯(lián)接時(shí)，一般要在螺紋聯(lián)接部分纏上氟塑料密封帶，或涂上厚漆、繞上麻絲等密封材料，以防止泄漏。一般工業(yè)氣體產(chǎn)銷(xiāo)量大，但對(duì)純度要求不高。特種氣體產(chǎn)銷(xiāo)量雖小，但根據(jù)不同的用途，對(duì)不同特種氣體的純度或組成、有害雜質(zhì)允許的含量、產(chǎn)品的包裝貯運(yùn)等都有極其嚴(yán)格的要求，屬于高技術(shù)，高附加值產(chǎn)品。

高純氣體(High Purity Gases)，通常指利用現(xiàn)代提純技術(shù)能達(dá)到的某個(gè)等級(jí)純度的氣體。承插聯(lián)接主要用于鑄鐵管、混凝土管、陶土管及其聯(lián)接件之間的聯(lián)接，只適用于在低壓常溫條件下工作的給水、排水和煤氣管道。對(duì)于不同類(lèi)別的氣體，純度指標(biāo)不同，例如對(duì)于氮，氫，Ar，氦而言，通常指純度等于或高于99.999%的為高純氣體；而對(duì)于氧氣，純度為99.99%即可稱(chēng)高純氧；對(duì)于碳?xì)浠衔?，純度?9.99%的即可認(rèn)為是高純氣體。