運(yùn)轉(zhuǎn)中的旋片式真空泵，如果操作不當(dāng)，往往會出現(xiàn)故障，譬如旋片式真空泵真空度下降，噴油、冒煙、油封處漏油，噪音等情況，和泵內(nèi)的真空泵油乳化等現(xiàn)象。萬一出現(xiàn)這種情況，首先不用恐慌，等停機(jī)以后根據(jù)故障一一排除。這里介紹幾個(gè)排除故障的方法?！　∫?、旋片式真空泵冒煙和噴油：指旋片式真空泵在運(yùn)轉(zhuǎn)中排氣口冒煙或者噴油?！　?、冒煙，如果是泵剛剛開始運(yùn)轉(zhuǎn)有冒煙的現(xiàn)象，屬于正常，如果長時(shí)間在冒煙就是不正常了。解決之道：冒煙說明泵的進(jìn)氣口外，包括管道、閥門、容器有修理的情況。檢漏以后處理了，冒煙會結(jié)束。渦街流量計(jì)　　2、噴油，說明進(jìn)氣口外有大量的漏點(diǎn)，甚至是進(jìn)氣口直接大氣。解決之道：封住泵的進(jìn)氣口使泵運(yùn)轉(zhuǎn)，如果不噴油的話，說明有漏點(diǎn);排氣閥片損壞，檢查排氣閥片是否損壞，更換壞的排氣閥片?！　《?、旋片式真空泵噪音：這里指泵的噪音?！　?、敲缸，泵運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)發(fā)出不規(guī)律的響聲，似金屬敲打金屬的聲音。這是旋片在擊打泵體發(fā)出的聲音。這種情況主要是配對旋片間的彈簧斷或者是收縮或彈出失效造成的。解決之道：打開泵檢查旋片彈簧是否損壞。更換好的彈簧?！　?、排氣閥片噪音，主要是泵的排氣閥片破損。解決之道：更換好的排氣閥片。　　三、旋片式真空泵真空度下降：指當(dāng)下測得的旋片式真空泵真空度比出廠指標(biāo)或者以前使用時(shí)的真空度低。引起真空度低的原因有很多，這里介紹幾種主要的情況?！　?、這次加的旋片式真空泵油的牌號和原先的不一樣。不同的真空泵油牌號，由于不同牌號油內(nèi)的飽和蒸汽壓不一樣，所以其的結(jié)果是不一樣的。解決之道：根據(jù)產(chǎn)品的型號規(guī)格更換正確的新真空泵油。　　2、另外也是由于真空泵油造成的真空度低的情況，就是真空泵油乳化變色，或者過臟。解決之道：放干凈泵內(nèi)的所有真空泵油，更換同類型的真空泵油，并解決被抽氣體中水蒸氣和雜質(zhì)不進(jìn)入泵內(nèi)?！　?、被抽氣體的溫度可能過高。解決之道：降低被抽氣體的溫度，或可以加一個(gè)相應(yīng)的換熱器?！　?、泵內(nèi)的油路不通或者不暢，泵腔內(nèi)沒有保持一定量的油量。解決之道：檢查油路是否暢通，并加同類型的真空泵油。　　5、配合的間隙改大。這是長期被抽氣體內(nèi)含有粉塵等，造成旋片和定子之間磨損后的間隙增大。解決之道：檢查間隙是否過大，更換新的零部件。WAU/WSU系列可以在大氣下啟動，既可簡化系統(tǒng)的控制程序，又提高了從大氣壓到10mbar范圍內(nèi)機(jī)組的抽速。

BOXER 系列（130 至 460 對/8 小時(shí)）Bühler Leybold Optics BOXER 系列是用于眼鏡鏡片鍍膜的通用性高、生產(chǎn)力高且實(shí)用的中到大型平臺。BOXER 系列以 700 mm 和 900 mm 不同腔室尺寸和可通過若干級進(jìn)行擴(kuò)展的能力為基礎(chǔ)，是滿足個(gè)別生產(chǎn)（無論是 Rx 生產(chǎn)還是存貨生產(chǎn)）需求的理想選擇。BOXER 系列鍍膜機(jī)進(jìn)行的加工包括從經(jīng)典的寬帶減反膜到吸光層（防曬）。BOXER 系列還適用于潔凈室用途。優(yōu)化的設(shè)置提供出色的性能BOXER 系列采用位于鍍膜腔中心的高功率電子槍，確保了基底上的鍍膜材料的均勻沉積。緊湊式平臺設(shè)計(jì)僅需少的占地空間且包括強(qiáng)大的真空泵、大效率邁斯納冷阱和單或雙石英晶體監(jiān)視器以大程度提。不同的系統(tǒng)型號可提供靈活的應(yīng)用BOXER 真空鍍膜機(jī)提供四種不同的版本以滿足客戶的特定需要。如果對系統(tǒng)的需求隨著時(shí)間變化，其硬件可輕松進(jìn)行擴(kuò)展，從而提高生產(chǎn)力。BOXER 900 采用更大體積的腔室，在產(chǎn)量方面經(jīng)過優(yōu)化，且可滿足大批量的生產(chǎn)需求。提供無數(shù)定制選件，包括適用于無機(jī)玻璃應(yīng)用的雙石英晶體監(jiān)視器、翻轉(zhuǎn)布置以及加熱系統(tǒng)。智能設(shè)計(jì)，易于維護(hù)BOXER 鍍膜系統(tǒng)的矩形設(shè)計(jì)可方便腔室屏蔽的快速拆卸以進(jìn)行清洗，而 BOXER 900 可通過屏蔽的滑動布置實(shí)現(xiàn)類似的輕松清洗。專門開發(fā)的“一鍵式修復(fù)”系統(tǒng)可方便基底支架的更換，由此有效地縮短基底傳送的時(shí)間。7有氣鎮(zhèn)下水蒸汽容限（標(biāo)準(zhǔn)）1）mbar40503040有氣鎮(zhèn)下水蒸汽容許負(fù)載kg。

LEYBOLD OPTICS CCS 系列（50 至 160 對/8 小時(shí)）視客戶要求而定，可使用 LEYBOLD OPTICS CCS 系列鍍膜機(jī)生產(chǎn)一或若干層（減反射層、防曬或鏡面層以及濾光片）。其出色的生產(chǎn)能力得益于短抽真空時(shí)間以及準(zhǔn)確的工序監(jiān)控，這些尤為該平臺的亮點(diǎn)。各種類型的 LEYBOLD OPTICS CCS 鍍膜機(jī)證明了小尺寸和高生產(chǎn)力并非互為獨(dú)占的。LEYBOLD OPTTIC CCS 系列包括生產(chǎn)解決方案，適用于中等產(chǎn)量的標(biāo)準(zhǔn)和離子輔助鍍膜工藝。4配大氣鎮(zhèn)時(shí)的耐水蒸氣壓力mbar50606070配大氣鎮(zhèn)時(shí)的耐水蒸氣能力kg。模塊化設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)可持續(xù)發(fā)展的解決方案

電子槍容量、低溫制冷系統(tǒng)的實(shí)施或腔室內(nèi)疏水性鍍膜功能相關(guān)的升級選件可在日后輕松添加至 LEYBOLD OPTICS CCS 的基本配置。因此，客戶可隨著其業(yè)務(wù)增長而選擇擴(kuò)建其系統(tǒng)。適用于廣泛應(yīng)用的靈活系統(tǒng)

LEYBOLD OPTICS CCS 系列提供適用于每種需求選配組件陣列。有兩種不同的鏡片支架，自動翻轉(zhuǎn)鏡片支架和適用于不同鏡片直徑的多種標(biāo)準(zhǔn)圓片，使其適用于廣泛的應(yīng)用。

經(jīng)過驗(yàn)證的設(shè)計(jì)，可進(jìn)行輕松維護(hù)所有 LEYBOLD OPTICS CCS 組件可輕松觸及，因此維護(hù)簡單。作為所有布勒萊寶光學(xué)設(shè)備的標(biāo)準(zhǔn)，每臺設(shè)備都可通過遠(yuǎn)程軟件工具訪問，輕松地實(shí)現(xiàn)離站分析和檢修活動。無數(shù)參數(shù)的大量數(shù)據(jù)錄入助力客戶始終獲得鍍膜機(jī)狀況的新情況，并在需要時(shí)可共享信息。其二，在非密封狀態(tài)下工作，即整個(gè)系統(tǒng)處于漏氣狀態(tài)，真空泵工作，系統(tǒng)內(nèi)的氣壓雖然降低，但不足以將真空泵油吸到泵腔里面潤滑。

LEYBOLD OPTICS CCS 平臺的圓柱形鍍膜腔室可促進(jìn)輕松維護(hù)和保護(hù)屏障的快速拆卸清洗，這又可提供增加設(shè)備運(yùn)行時(shí)間的優(yōu)勢。

對于機(jī)械真空泵如旋片式真空泵應(yīng)安裝在清潔、干凈的環(huán)境里，溫度宜在15至40度范圍之內(nèi)。在真空泵的進(jìn)氣口處應(yīng)安裝精密過濾器，消除油蒸汽不使它污染整個(gè)系統(tǒng)。每次啟動真空泵前，應(yīng)用手轉(zhuǎn)動或斷續(xù)啟動幾次，將旋片真空泵內(nèi)油排出真空泵外，減少啟動時(shí)的阻力。真空泵使用油，一般3~6個(gè)月更換一次，以免增加真空泵維修保養(yǎng)起來的難度。真空泵抽除含有可凝性蒸汽時(shí)精密過濾器。用帶放氣電磁閱是較好的措施，可保證停泵時(shí)即對真空泵放大氣。若環(huán)境溫度低干5度，停機(jī)后應(yīng)將真空泵內(nèi)冷卻水放凈，以防真空泵體凍裂。