真空泵轉子與靜止件軸向摩擦的振動機理

  理論研究和試驗表明，轉子與精致件發(fā)生軸向摩擦時，真空泵轉子的振動特征幾乎與正常狀況一致，沒有明顯的異常特征，所以診斷軸向摩擦時，不能用波形、軸心軌跡和頻譜方法去識別，必須尋求新的銘感參數(shù)。

  真空泵軸向干摩擦力與旋轉速度有關，由于軸向干摩擦的作用使基頻影響相對下降，同時有高頻成分出現(xiàn)，所以軸向干摩擦具有阻尼的特性。軸向干摩擦力的打小正比于轉子與靜止間的干摩擦因數(shù)和軸向力。軸向干摩擦阻尼遠大于徑向摩擦

阻尼，由于軸向干摩擦會引起系統(tǒng)阻尼的顯著增加，因此系統(tǒng)阻尼的變化可作為軸向摩擦的識別特征。

  另外，摩擦會造成成功耗上升和效率下降，同時局部會有溫升，因此工藝參數(shù)對轉子與靜止件軸向摩擦的故障診斷非常重要

半導體加工我們繼續(xù)革新技術解決方案，這些解決方案將會提升制程正常運轉時間、產量、吞吐量與安全認證水平，同時通過減輕不利于環(huán)境的排放、延長產品使用壽命并降低持續(xù)服務成本，努力協(xié)調平衡往往相互沖突的更低擁有成本要求。

所有居于地位的制程工具 OEM，以及全球每一家主要半導體工廠都采用了我們的系統(tǒng)，因為它們能夠滿足成熟制程與發(fā)展中制程的具體要求。調整出口閥門開啟度與管道工況有關檢查軸封泄漏情況檢查電動機，軸承處唯獨應小于等于70度停止關閉吐出管路閥門停止電動機閉進口閥門如長期停機，應將泵內潤滑油放盡。提供干式真空泵、渦輪分子泵與使用點減排系統(tǒng)等各種系統(tǒng)，用來優(yōu)化從輕負荷制程到超重負荷制程的各項應用的性能表現(xiàn)。 平版印刷平版印刷（即晶圓的圖案形成）是半導體 制程中的一個關鍵步驟。雖然傳統(tǒng)甚至浸潤式平版印刷 一般不需要真空環(huán)境，但遠紫外 (EUV) 平版印刷和電子束平版印刷卻需要真空 泵。Edward可以讓您有效應對這兩種應用。

EUV 平版印刷泵送解決方案

多重圖案形成技術有其存在的價值， 但以后可能需要使用 EUV 平版印刷，因為輕型 EUV 系統(tǒng) 提供極短的波長。機械增壓泵在相對較低的壓力下工作，不會暴露在與前級泵相同濃度的腐蝕性制程介質下，因此高度可靠。要讓您的系統(tǒng)具有 性能，真空環(huán)境是關鍵。真空系統(tǒng)的 清潔性尤其重要，它有助于延長維修間隔。我們 與 EUV 平版印刷 OEM 和光源 OEM 合作開發(fā)了 精密真空系統(tǒng)，可為您進行的大型投資提供 可靠性。

電子束平版印刷解決方案

電子束平版印刷在硅晶片的圖案形成中 具有重要作用。低振動的清潔真空對于確保系統(tǒng)的精密性 和長正常運行時間至關重要。

我們的產品解決方案

您可能需要使用渦輪分子泵 (TMP) 以便 在您的制程工具上實現(xiàn)超高真空。我們的 STP 系列 TMP 采用 完全磁懸浮轉子以降低艙室污染風險并延長 維修間隔。這些泵結構緊湊，使用時非常安靜，具備先進的潤滑回路，可靠性高，配有各種附件，可以滿足特定的應用需求。目前開發(fā)的產品通過將控制器集成到 泵本身中來降低總成本和占地面積，不再需要 外部控制器和控制器與泵之間的沉重控制 電纜。