無(wú)塵車(chē)間凈化技術(shù)的設(shè)備發(fā)展

　　美國(guó)ASYST公司、德國(guó)MW公司發(fā)展的使用隔離技術(shù)的亞微米生產(chǎn)微環(huán)境系統(tǒng)設(shè)備和技術(shù)在近幾年中得到廣泛采用。水質(zhì)凈化工程成賞荷風(fēng)景地日前，山東省章丘市白云湖人工濕地水質(zhì)凈化工程近400畝表流濕地上種植的荷花盛開(kāi)，吸引不少市民和游客前來(lái)觀賞。該項(xiàng)新的無(wú)塵車(chē)間潔凈技術(shù)在100級(jí)潔凈度的潔凈廠房中，采用工藝設(shè)備局部使用隔離技術(shù)的微環(huán)境，把投資比例壓縮到高ji別的微環(huán)境，無(wú)塵車(chē)間消除了操作者與工藝設(shè)備運(yùn)行的二次污染源產(chǎn)生對(duì)集成電路成品率和可靠性的影響作用。

潔凈工程區(qū)域功能講解：

　　1. 粘性地板材料：通常用在潔凈室入口到更衣區(qū)域和潔凈室中，粘性材料用來(lái)祛除鞋底的塵埃微粒。

　　2. 更衣區(qū)域：潔凈室與外部環(huán)境的緩沖地帶，對(duì)這個(gè)區(qū)域的管理直接影響到潔凈室潔凈度的保持。

　　3. 氣壓：保持和監(jiān)測(cè)相對(duì)于外部環(huán)境或相關(guān)區(qū)域的正氣壓將直接影響到潔凈室的運(yùn)行。

　　4. 風(fēng)浴：理論上，更衣過(guò)的工作人員在進(jìn)入潔凈室前應(yīng)進(jìn)行進(jìn)一步的“擦洗”。

　　5. 維修間：置放輔助和支持設(shè)備(除載入和載出設(shè)備之外)，這個(gè)區(qū)域的維護(hù)對(duì)生產(chǎn)潔凈度水平而言是非常重要的。

　　6. 雙門(mén)通道：允許原料或產(chǎn)品進(jìn)出潔凈室的氣密進(jìn)出口。

　　7. 更衣程序：就潔凈室服裝而言，存放、穿衣和更衣都對(duì)潔凈室運(yùn)行起到關(guān)鍵的作用。潔凈室維護(hù)(包括洗衣)在潔凈室運(yùn)行中經(jīng)常被忽略

凈化工程注意事項(xiàng)需記牢：

　　7.無(wú)菌室運(yùn)用前有必要翻開(kāi)無(wú)菌室的紫外燈輻照滅菌30分鐘以上，而且一起翻開(kāi)超凈臺(tái)進(jìn)行吹風(fēng)。操作結(jié)束，應(yīng)及時(shí)整理無(wú)菌室，再用紫外燈輻照滅菌20分鐘。

　　8.供試品在查看前，應(yīng)堅(jiān)持外包裝完好，不得敞開(kāi)，以防污染。查看前，用70%的酒精棉球消毒外外表。

　　9.凡帶有活菌的物品，須經(jīng)消毒后，才能在水龍頭下沖刷，禁止污染下水道。