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發(fā)布時(shí)間:2020-11-09 07:55  






化學(xué)氣相沉積技術(shù)的使用

生產(chǎn)晶須:

晶須屬于一種以為發(fā)育的單晶體,它在符合材料范疇中有著很大的作用,能夠用于生產(chǎn)一些新型復(fù)合材料。 化學(xué)氣相沉積法在生產(chǎn)晶須時(shí)使用的是金屬鹵化物的氫還原性質(zhì)。他們所使用的襯底材料有藍(lán)寶石、石英玻璃以及氧化釔穩(wěn)定化的二氧化鋯(YSZ)等等。化學(xué)氣相沉積法不但能制備出各類金屬晶須,同時(shí)也能生產(chǎn)出化合物晶須,比如氧化鋁、金剛砂、碳化鈦晶須等等。

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物理氣相沉積和化學(xué)氣相沉積的區(qū)別

化學(xué)氣相沉積過程中有化學(xué)反應(yīng),多種材料相互反應(yīng),生成新的的材料。

物理氣相沉積中沒有化學(xué)反應(yīng),材料只是形態(tài)有改變。

物理氣相沉積技術(shù)工藝過程簡單,對(duì)環(huán)境改善,無污染,耗材少,成膜均勻致密,與基體的結(jié)合力強(qiáng)。

化學(xué)雜質(zhì)難以去除。優(yōu)點(diǎn)可造金屬膜、非金屬膜,又可按要求制造多成分的合金膜,成膜速度快,膜的繞射性好

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化學(xué)氣相沉積的特點(diǎn)有哪些?

?  高溫石英管反應(yīng)器設(shè)計(jì)

?  溫度范圍:室溫到1100度

?  多路氣體準(zhǔn)確控制

?  標(biāo)準(zhǔn)氣壓計(jì)

?  易于操作

?  可配機(jī)械泵實(shí)現(xiàn)低壓TCVD

?  可用于制備金屬氧化物、氮化物、碳化物、金屬薄膜

?  液體前驅(qū)體噴頭

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