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如何保證電子氣體的安全儲存
如何保證電子氣體的安全儲存、使用操作,系統(tǒng)的工藝和產(chǎn)品本征安全設(shè)計(jì),在眾多的國際標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范如,等都有很詳細(xì)的規(guī)定,目前中國國內(nèi)也正在起草針對電子特種氣體的國家標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范。通常而言,會根據(jù)氣體性質(zhì)和相容性,將氣體房分成可燃?xì)怏w房、腐蝕性氣體房、惰性氣體房等。氣體房規(guī)劃需要考慮建筑物的防火、泄爆、防火防爆間距、危險(xiǎn)物總量控制等等。針對輸送系統(tǒng),特別是系統(tǒng),因總量較大,應(yīng)釆用隔離式建筑。氣體房和氣柜應(yīng)采用自動噴淋系統(tǒng)。而三氟化氯遇水反應(yīng),需要采用二氧化碳滅火系統(tǒng)。
使用電子氣體的工廠抽風(fēng)系統(tǒng),也根據(jù)危險(xiǎn)品性質(zhì)分成了普通排風(fēng)系統(tǒng)(,酸性排風(fēng)系統(tǒng)(,溶劑排風(fēng)系統(tǒng)(和氨氣排風(fēng)系統(tǒng)(。換鋼瓶時(shí)的吹掃尾氣,也建議排放至尾氣處理器中。輸送管道一般采用無縫管。施工釆用自動軌道焊接,經(jīng)保壓、氦檢漏和純度測試。對于毒、高反應(yīng)性和自燃?xì)怏w,應(yīng)使用雙套管輸送。一些毒氣體如磷烷等,安全輸送系統(tǒng)(正在被廣泛使用。其鋼瓶內(nèi)采用負(fù)壓吸附的方式,用真空法輸送,從根本上避免了氣體的泄漏。氣體偵測系統(tǒng)(是全廠生命安全系統(tǒng)(的重要組成部分。對于偵測器的要求,除了精度高,反應(yīng)迅速外,還應(yīng)具備自檢功能。
真空鍍膜時(shí)為什么要用到高純氣體
在真空離子鍍膜中,所選用不同氣體所生產(chǎn)出來的,液態(tài)氣體色澤也會不一樣,氬氣一般用作創(chuàng)造鍍膜的環(huán)境鍍鈦和鉻時(shí),工業(yè)氣體充入氮?dú)饪缮a(chǎn)出銀色和黃色的產(chǎn)品而想要生產(chǎn)出黑色或灰色的產(chǎn)品,則需要加入氣體加入氧氣則生產(chǎn)藍(lán)色的產(chǎn)品。除了氣體外所生產(chǎn)出的產(chǎn)品顏色還受壓力、溫度、時(shí)間等條件影響。真空電鍍是利用的什麼原理?
在高真空度的條件下,高純度的鍍層金屬(如鋁)在高溫下蒸發(fā)后會自由地飛散開并沉降在工件表面,形成鍍層。氬氣為保護(hù)性氣體,防止氧化反應(yīng)影響鍍層質(zhì)量。氬氣在電鍍過程中有何用?
氬氣不參與反應(yīng),只是增加氣壓,改善鍍膜時(shí)靶的放電條件,氬氣不是用于鍍膜,主要用于創(chuàng)造鍍膜的環(huán)境。氮?dú)夂蜌鍤舛际嵌栊詺怏w,沖進(jìn)去以后,一 可以排除氧氣,防止氧化,二更具氮?dú)夂蜌鍤庠跀U(kuò)散泵內(nèi)的含量比例不同,可以鍍膜出不同的顏色.主要是為了改變鍍膜出來產(chǎn)品的色彩.
高純管道在高純氣體輸送中的意義
常見氣體的種類 w* r% P( G( `5 K _* u, A& ~
電子行業(yè)中常見氣體的分類:/ c9 A7 q6 A& P$ e, [& |; F3 O
普通氣體,也稱大宗氣體 (Bulk gas ):氫氣(H2)、氮?dú)猓∟2)、氧氣(O2)、氬氣(A2)等
特種氣體(Specialty gas )主要有 SiH4 PH3 B2H6 A8H3 CL HCL CF4 NH3POCL3 SIH2CL2 SIHCL3 NH3 BCL3 SIF4 CLF3 CO C2F6 N2O F2 HF HBR SF6……等等