無塵車間凈化技術(shù)的設(shè)備發(fā)展

　　美國ASYST公司、德國MW公司發(fā)展的使用隔離技術(shù)的亞微米生產(chǎn)微環(huán)境系統(tǒng)設(shè)備和技術(shù)在近幾年中得到廣泛采用。該項新的無塵車間潔凈技術(shù)在100級潔凈度的潔凈廠房中，采用工藝設(shè)備局部使用隔離技術(shù)的微環(huán)境，把投資比例壓縮到高ji別的微環(huán)境，無塵車間消除了操作者與工藝設(shè)備運行的二次污染源產(chǎn)生對集成電路成品率和可靠性的影響作用。生物制藥潔凈工程節(jié)能設(shè)計，應(yīng)充分考慮工藝生產(chǎn)能力、設(shè)備的大小、操作方式和前后生產(chǎn)工序的連接方式、操作人數(shù)、設(shè)備自動化程度、設(shè)備檢修空間、設(shè)備清洗方式等因素，以降低投資和運行費用，達(dá)到節(jié)能要求。

移動式層流小車

①主體框架采用304不銹鋼，工作區(qū)三面PC板一面可開啟門，美觀整潔，易于清潔消毒;

②采用可調(diào)風(fēng)量的風(fēng)機系統(tǒng)，通過調(diào)節(jié)風(fēng)機的工況，保證潔凈工作區(qū)的風(fēng)速在額定范圍內(nèi);

③氣流流形為垂直流，空氣自上而下，在工作區(qū)與PC板之間形成空氣保護，并與外部形成正壓差，保證工作區(qū)的潔凈度。

④設(shè)有報警系統(tǒng)，風(fēng)機非正常狀態(tài)停機，將自動報警。