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凈化車(chē)間參數(shù):換氣次數(shù):100000級(jí)≥15次;10000級(jí)≥20次;1000≥30次。壓差:主車(chē)間對(duì)相鄰房間≥5Pa平均風(fēng)速:10級(jí)、100級(jí)0.3-0.5m/s;溫度 冬季>16℃;夏季 <26℃;波動(dòng)±2℃。濕度45-65%;GMP車(chē)間濕度在50%左右為宜;電子車(chē)間濕度略高以免產(chǎn)生靜電。噪聲≤65dB(A);新風(fēng)補(bǔ)充量是總送風(fēng)量的10%-30%;照度300LX0潔凈室施工及驗(yàn)收規(guī)范:建設(shè)項(xiàng)目二:HEPA為萬(wàn),10萬(wàn)級(jí)潔凈動(dòng)蕩房新建,改建項(xiàng)目空調(diào)系統(tǒng)鼓風(fēng)機(jī)終端這款產(chǎn)品。可以凈化空調(diào)系統(tǒng)廣泛應(yīng)用于電子工業(yè),精密機(jī)械,冶金,化工等工業(yè)和,制藥,食品等部門(mén)。此裝置由靜壓室,過(guò)濾器,鋁合金制的擴(kuò)散板等標(biāo)準(zhǔn)法蘭接口,吸引人的外觀,結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,使用可靠的。這是具有安裝的過(guò)濾器的優(yōu)點(diǎn),過(guò)濾器或罐使用機(jī)械壓縮密封裝置,以確保無(wú)泄漏空氣安裝,密封可靠,良好的凈化效果的潔凈室和易于更換內(nèi)的型空氣出口,一般去污可以是應(yīng)用。
潔凈室中的溫濕度控制
潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來(lái)確定,但在滿足工藝要求的條件下,應(yīng)考慮到 人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高,出現(xiàn)了工藝對(duì)溫濕度的要求也越來(lái)越嚴(yán)的趨勢(shì)。1級(jí):塵埃易使芯片失效或者穩(wěn)定性下降,當(dāng)金屬塵埃落于集成電路上時(shí),就可能造成短路。當(dāng)空氣中的酸性離子落在電路上時(shí),可能將電路腐蝕,因此凈化空調(diào)系統(tǒng)對(duì)微電子工業(yè)而言至關(guān)重要。此外,液晶、光纖的生產(chǎn)也需要1級(jí)潔凈度的要求。直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就引起了0.24um線性膨脹,所以必須有±0.1度的恒溫,同時(shí)要求濕度值一般較低,因?yàn)槿顺龊挂院螅瑢?duì)產(chǎn)品將有污染,特別是怕鈉的半導(dǎo)體車(chē)間,這種車(chē)間不宜超過(guò)25度。
設(shè)計(jì)凈化系統(tǒng)組織的原則是相鄰二級(jí)過(guò)濾器的效率不能太接近,也不能相差太大。一般采用初效、中效、亞(或)三級(jí)過(guò)濾器。也可分四級(jí),增加一級(jí)過(guò)濾器。凈化工程在設(shè)計(jì)時(shí),無(wú)論是新建還是重新改造的凈化車(chē)間,都一定依照國(guó)家相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)、規(guī)范進(jìn)行。我們國(guó)家的空氣分子控制等的技術(shù)正在朝有利的方向發(fā)展,這項(xiàng)技術(shù)原先是由日本發(fā)展起來(lái)的,現(xiàn)在已經(jīng)受到了全世界的關(guān)注和認(rèn)可,在我們國(guó)家,這項(xiàng)技術(shù)已經(jīng)受到了相關(guān)行業(yè)的重視并且投入研發(fā),相信在不久的未來(lái),我們國(guó)家的相關(guān)科研人員一定會(huì)在這個(gè)領(lǐng)域取得讓人滿意的成績(jī),為我們國(guó)家的凈化工程行業(yè)做出貢獻(xiàn)。
現(xiàn)在國(guó)內(nèi)的相關(guān)企業(yè)很多,所以凈化工程企業(yè)之間的競(jìng)爭(zhēng)也很激烈,因?yàn)榭萍嫉陌l(fā)展使得市場(chǎng)對(duì)凈化工程的要求高了起來(lái),從以前的價(jià)格競(jìng)爭(zhēng)變成了現(xiàn)在的價(jià)值競(jìng)爭(zhēng)。所以相關(guān)的凈化工程企業(yè)應(yīng)該提高自身的自主研發(fā)能力,不斷的發(fā)展創(chuàng)新,才能適應(yīng)這個(gè)競(jìng)爭(zhēng)激烈的市場(chǎng)。直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就引起了0.24um線性膨脹,所以必須有±0.1度的恒溫,同時(shí)要求濕度值一般較低,因?yàn)槿顺龊挂院?,?duì)產(chǎn)品將有污染,特別是怕鈉的半導(dǎo)體車(chē)間,這種車(chē)間不宜超過(guò)25度。凈化工程在設(shè)計(jì)時(shí),無(wú)論是新建還是重新改造的凈化車(chē)間,都一定依照國(guó)家相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)、規(guī)范進(jìn)行。