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原來磁場強弱雖不好進行控制,但同時工件也在同時運轉(zhuǎn),且是靶材原子多次沉積此案結(jié)束鍍膜工序,在一段時間內(nèi)雖然某些部位厚,某些部位薄,但另一個時間內(nèi),磁場強的作用下在原來薄的部位沉積上厚的,在厚的部位沉積上薄的,如此多次,整個膜層成膜后,均勻性還是比較不錯的。
亞氣的送氣均勻性也會對膜層均勻性產(chǎn)生影響,其原理實際上和真空度差不多,因為亞氣的進入,真空室內(nèi)壓強會產(chǎn)生變化,均勻的壓強大小可以控制成磁控濺射真空鍍膜機膜厚度的均勻性。
真空電鍍設(shè)備對鍍件與鍍膜層有良好的接觸性能與較高的結(jié)合力,真空電鍍設(shè)備熱膨脹系數(shù)相差小,不起反應(yīng),流平性能好。
真空電鍍設(shè)備施涂性能良好。真空電鍍設(shè)備流平性能良好,有適當(dāng)?shù)酿ざ?、固化時間短。真空電鍍設(shè)備與鍍膜層要有良好的接觸性能;真空電鍍設(shè)備與底涂層要有一定的相溶性;真空電鍍設(shè)備成膜性能與施涂性能優(yōu)良;真空電鍍設(shè)備具有適當(dāng)?shù)臋C械強度;真空電鍍設(shè)備防潮、抗溶劑、耐真空電鍍設(shè)備腐蝕性能好??估匣阅軓?。